ALD sulatatud kvartsist pjedestaal

Professionaalse ALD Fused Quartz Postament toodete tootja ja tarnijana Hiinas on VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Postament spetsiaalselt loodud kasutamiseks aatomkihtsadestamises (ALD), madalrõhu keemilises aurustamises (LPCVD) ja difusioonivahvliprotsessis. õhukeste kilede ühtlane ladestumine vahvlipindadele. Tere tulemast teie täiendavatele päringutele.

Saada päring

Tootekirjeldus

VeTek Semiconductor ALD sulatatud kvartspostament mängib pooljuhtide tootmisprotsessis võtmerolli tugistruktuurinakvartspaat, mida kasutatakse hoidmiseksvahvel. Sulatatud kvartspostament aitab saavutada ühtlase kile sadestumise, säilitades stabiilse temperatuuri, mis mõjutab otseselt pooljuhtseadmete jõudlust ja töökindlust. Lisaks tagab kvartspostament soojuse ja valguse ühtlase jaotumise protsessikambris, parandades seeläbi sadestamisprotsessi üldist kvaliteeti.

ALD fused silica susceptor is used to support the quartz boat on which the wafer is placed

ALD sulatatud kvartsaluse materjali eelised

Kõrge temperatuuritaluvus: sulatatud kvartsist pjedestaali pehmenemistemperatuur on umbes 1730 ° C ja see talub pikka aega kõrgel temperatuuril 1100 ° C kuni 1250 ° C ning võib kokku puutuda äärmuslike temperatuuridega kuni 1450 ° C. lühikeseks ajaks.

Suurepärane korrosioonikindlus: Sulatatud kvarts on keemiliselt väga inertne peaaegu kõikide hapete suhtes, välja arvatud vesinikfluoriidhape. Selle happekindlus on 30 korda kõrgem kui keraamikal ja 150 korda kõrgem kui roostevabal terasel. Sulatatud kvarts on kõrgel temperatuuril keemiliselt võrreldamatu, mistõttu on see ideaalne materjal keeruliste keemiliste protsesside jaoks.

Termiline stabiilsus: Fused Quartz Postament materjali põhiomadus on selle ülimadal soojuspaisumise koefitsient. See tähendab, et see saab kergesti hakkama dramaatiliste temperatuurikõikumiste ilma pragunemiseta. Näiteks sulatatud ränidioksiidi kvartsi saab kiiresti kuumutada temperatuurini 1100 °C ja kasta otse külma vette ilma kahjustusteta, mis on oluline omadus kõrge pingega tootmistingimustes.

Range tootmisprotsess: sulatatud ränidioksiidi pjedestaalide tootmisprotsess järgib rangelt kõrgeid kvaliteedistandardeid. Tootmisprotsessis kasutatakse kuumvormimis- ja keevitusprotsesse, mis viiakse tavaliselt läbi 10 000 klassi puhasruumi keskkonnas. Seejärel puhastatakse sulatatud kvartsklaasist pjedestaal põhjalikult ülipuhta veega (18 MΩ), et tagada toote puhtus ja optimaalne jõudlus. Iga valmistoodet kontrollitakse rangelt, puhastatakse ja pakitakse vähemalt 1000. klassi puhasruumi, et see vastaks pooljuhtide tööstuse kõrgetele standarditele.

Kõrge puhtusastmega läbipaistmatu ränikvartsmaterjal

VeTeksemi ALD Fused Quartz Postament kasutab kõrge puhtusastmega läbipaistmatut kvartsmaterjali, et isoleerida tõhusalt soojust ja valgust. Selle suurepärased kuuma- ja valgusvarjestusomadused võimaldavad säilitada protsessikambris ühtlase temperatuurijaotuse, tagades õhukese kihi ühtluse ja konsistentsi.filmi sadestaminevahvli pinnal.

Rakendusväljad

Sulatatud kvartspostamente kasutatakse nende suurepärase jõudluse tõttu laialdaselt paljudes pooljuhtide tööstuse valdkondades. Aastalaatomkihtsadestamise (ALD) protsess, toetab see kile kasvu täpset kontrolli ja tagab pooljuhtseadmete edasiliikumise. Aastalmadalrõhu keemilise aurustamise-sadestamise (LPCVD) protsessKõrge puhtusastmega kvartsaluse termiline stabiilsus ja valguse varjestus tagavad õhukeste kilede ühtlase sadestumise, parandades seeläbi seadme jõudlust ja tootlikkust.

Lisaks tagab difusioonivahvli protsessis Fused Quartz Pjedestaali kõrge temperatuuritaluvus ja keemilise korrosioonikindlus pooljuhtmaterjali dopinguprotsessi usaldusväärsuse ja järjepidevuse. Need võtmeprotsessid määravad pooljuhtseadmete elektrilised jõudlused ja kvaliteetsed sulatatud kvartsmaterjalid mängivad nende protsesside parimate tulemuste saavutamisel asendamatut rolli.

VeTeki pooljuhtide ALD sulatatud kvartspostamendi kauplused:

Fused Quartz Pedestal shops