VeTek Semiconductori ainulaadsed karbiidkatted pakuvad grafiidist osadele ülimat kaitset nõudlike pooljuht- ja komposiitpooljuhtmaterjalide töötlemisel SiC Epitaxy protsessis. Tulemuseks on grafiidikomponentide pikendatud eluiga, reaktsiooni stöhhiomeetria säilimine, lisandite migratsiooni pärssimine epitaksia ja kristallide kasvatamise rakendustesse, mille tulemuseks on suurenenud saagis ja kvaliteet.
Meie tantaalkarbiidi (TaC) katted kaitsevad kriitilisi ahju ja reaktori komponente kõrgetel temperatuuridel (kuni 2200°C) kuuma ammoniaagi, vesiniku, räni aurude ja sulametallide eest. VeTek Semiconductoril on lai valik grafiiditöötlus- ja mõõtmisvõimalusi, mis vastavad teie kohandatud nõuetele, nii et saame pakkuda tasulist katet või täisteenust koos meie ekspertide meeskonnaga, kes on valmis kujundama teile ja teie konkreetsele rakendusele sobiva lahenduse. .
Liitpooljuhtkristallid
VeTek Semiconductor võib pakkuda erinevatele komponentidele ja kandjatele spetsiaalseid TaC-katteid. VeTek Semiconductori tööstusharu juhtiva katmisprotsessi kaudu võib TaC-kate saavutada kõrge puhtuse, kõrge temperatuuri stabiilsuse ja kõrge keemilise vastupidavuse, parandades seeläbi kristallide TaC / GaN) ja EPl kihtide kvaliteeti ning pikendades kriitiliste reaktori komponentide eluiga.
Soojusisolaatorid
SiC, GaN ja AlN kristallide kasvatamise komponendid, sealhulgas tiiglid, seemnehoidikud, deflektorid ja filtrid. Tööstuslikud sõlmed, sealhulgas takistuslikud kütteelemendid, düüsid, varjestusrõngad ja kõvajoodisega kinnitusdetailid, GaN- ja SiC-epitaksiaalsed CVD-reaktori komponendid, sealhulgas vahvlikandurid, satelliidialused, dušipead, korgid ja pjedestaalid, MOCVD komponendid.
LED (valgusdiood) vahvlikandja
ALD (Semiconductor) vastuvõtja
EPI retseptor (SiC epitaksiprotsess)
TaC-kattega satelliitsuceptor TaC katte sustseptor ja rõngas TaC katte osad Halfmoon osad TaC kattega
SiC | TaC | |
Põhijooned | Ülimalt kõrge puhtusastmega, suurepärane plasmakindlus | Suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus (kõrge temperatuuriga protsessi vastavus) |
Puhtus | >99,9999% | >99,9999% |
Tihedus (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Kõvadus (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Takistus [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Soojusjuhtivus (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Soojuspaisumistegur (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Rakendus | Pooljuhtseadmete keraamiline rakis (fookusrõngas, dušipea, näiv vahvel) | SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Seadme osad |
VeTek Semiconductor on professionaalne poorse tantaalkarbiidi toodete tootja ja juht Hiinas. Poorset tantaalkarbiidi toodetakse tavaliselt keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) meetodil, tagades selle pooride suuruse ja jaotumise täpse kontrolli ning see on materjalitööriist, mis on mõeldud kõrge temperatuuriga äärmuslikele keskkondadele. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päringHiinas arenenud tantaalkarbiidrõnga toodete tootjana ja tootjana on VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ringil äärmiselt kõrge kõvadus, kulumiskindlus, kõrge temperatuuritaluvus ja keemiline stabiilsus ning seda kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmise valdkonnas. Eriti CVD-s, PVD-s, ioonide implanteerimisprotsessis, söövitusprotsessis ning vahvlite töötlemisel ja transportimisel on see asendamatu toode pooljuhtide töötlemiseks ja tootmiseks. Ootan teie edasist konsultatsiooni.
Loe rohkemSaada päringProfessionaalse tantaalkarbiidkatte tugitoodete tootja ja Hiinas asuva tehasena kasutatakse VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support tavaliselt pooljuhtseadmete konstruktsioonikomponentide või tugikomponentide pinnakatmiseks, eriti pooljuhtide tootmisprotsessides, näiteks peamiste seadmete komponentide pinnakaitseks. CVD ja PVD. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne tantaalkarbiidi juhtrõnga toodete tootja ja juht Hiinas. Meie tantaalkarbiidi (TaC) juhtrõngas on tantaalkarbiidist valmistatud suure jõudlusega rõngakomponent, mida kasutatakse tavaliselt pooljuhtide töötlemise seadmetes, eriti kõrge temperatuuriga ja väga korrodeerivates keskkondades, nagu CVD, PVD, söövitus ja difusioon. VeTek Semiconductor on pühendunud kõrgtehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele ning tervitab teie edasisi päringuid.
Loe rohkemSaada päringHiinas TaC Coating Rotation Susceptor toodete professionaalse tootja, uuendaja ja juhina. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor paigaldatakse tavaliselt keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) ja molekulaarkiire epitaksia (MBE) seadmetesse, et toetada ja pöörata vahvleid, et tagada ühtlane materjali sadestumine ja tõhus reaktsioon. See on pooljuhtide töötlemise põhikomponent. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on CVD TaC Coating Crucible toodete professionaalne tootja ja juht Hiinas. CVD TaC Coating Crucible põhineb tantaalsüsi (TaC) kattel. Tantaal-süsinikkate on tiigli pinnal ühtlaselt kaetud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga, et suurendada selle kuumakindlust ja korrosioonikindlust. See on materjalist tööriist, mida kasutatakse spetsiaalselt kõrge temperatuuriga äärmuslikes keskkondades. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päring