Elektronkiirega aurustamine on võrreldes takistuskuumutusega ülitõhus ja laialdaselt kasutatav katmismeetod, mis soojendab aurustusmaterjali elektronkiirega, põhjustades selle aurustumist ja kondenseerumist õhukeseks kileks.
Loe rohkemVaakumkate hõlmab kilematerjali aurustamist, vaakumtransporti ja õhukese kile kasvatamist. Vastavalt erinevatele kilematerjalide aurustamismeetoditele ja transpordiprotsessidele võib vaakumkatte jagada kahte kategooriasse: PVD ja CVD.
Loe rohkemÕhukese kile sadestamine on kiibi valmistamisel ülioluline, luues mikroseadmeid, kandes CVD, ALD või PVD kaudu alla 1 mikroni paksuseid kilesid. Need protsessid ehitavad pooljuhtkomponente vahelduvate juhtivate ja isoleerivate kilede kaudu.
Loe rohkemPooljuhtide tootmisprotsess hõlmab kaheksat etappi: vahvlite töötlemine, oksüdeerimine, litograafia, söövitamine, õhukese kile sadestamine, ühendamine, testimine ja pakendamine. Liivast saadud räni töödeldakse vahvliteks, oksüdeeritakse, mustritakse ja söövitatakse ülitäpsete ahelate jaoks.
Loe rohkem