CVD SiC on kõrge puhtusastmega ränikarbiidmaterjal, mida toodetakse keemilise aurustamise teel. Seda kasutatakse peamiselt erinevate komponentide ja katete jaoks pooljuhtide töötlemisseadmetes. Järgmine sisu tutvustab CVD SiC toodete klassifikatsiooni ja põhifunktsioone
Loe rohkem