Tantaalkarbiidkatte tugi

VeTek Semiconductori põhifunktsioonTantaalkarbiidi (TaC) kateToetus on parandadakuumakindlus, kulumiskindlus ja korrosioonikindlussubstraadist, kattes tantaalkarbiidkatte kihi, et parandada protsessi täpsust ja usaldusväärsust ning pikendada komponentide kasutusiga. See on suure jõudlusega kattetoode, mida kasutatakse pooljuhtide töötlemise valdkonnas.

VeTek Semiconductori tantaalkarbiidi kattetoe Mohsi kõvadus on peaaegu 9–10, mis on teemandi järel teine. Sellel on äärmiselt tugev kulumiskindlus ja see talub töötlemise ajal tõhusalt pinna kulumist ja lööke, pikendades seeläbi tõhusalt seadmete komponentide kasutusiga. Koos selle kõrge sulamistemperatuuriga (umbes 3880 °C) kasutatakse seda sageli pooljuhtseadmete põhikomponentide katmiseks, näiteks tugistruktuuride pinnakatted, kuumtöötlusseadmed, kambrid või pooljuhtseadmete tihendid, et suurendada kulumiskindlust ja kõrget temperatuuri. vastupanu.

Tantaalkarbiidi ülikõrge sulamistemperatuuri (umbes 3880 °C) tõttu pooljuhtide töötlemisprotsessides, nagu näitekskeemiline aurustamine-sadestamine (CVD)jafüüsikaline aurustamine-sadestamine (PVD)Tugeva kõrge temperatuurikindluse ja keemilise korrosioonikindlusega TaC-kate võib tõhusalt kaitsta seadme komponente ja vältida korrosiooni või substraadi kahjustamist äärmuslikes keskkondades, pakkudes vahvlite tootmisel tõhusat kaitset kõrge temperatuuriga keskkondades. See funktsioon määrab ka selle, et VeTek Semiconductori tantaalkarbiidi kattetuge kasutatakse sageli söövitamise ja söövitamise protsessides.

Tantaalkarbiidi pinnakatte toel on ka osakeste saastumise vähendamise funktsioon. Vahvlite töötlemisel tekitab pinna kulumine tavaliselt tahkete osakeste saastumist, mis mõjutab vahvli toote kvaliteeti. TaC Coatingi äärmuslikud tooteomadused, mille kõvadus on ligi 9–10 Mohsi, võivad seda kulumist tõhusalt vähendada, vähendades seeläbi osakeste teket. Koos TaC Coatingi suurepärase soojusjuhtivusega (umbes 21 W/m·K) suudab see säilitada hea soojusjuhtivuse kõrgel temperatuuril, parandades seeläbi oluliselt vahvlite valmistamise saagist ja järjepidevust.

VeTek Semiconductori peamised TaC Coating tooted hõlmavadTaC Coating Heater, CVD TaC kattetiigel, TaC katte pöörlemissusseptorjaTaC Coating Varuosajne ning toetavad kohandatud tooteteenuseid. VeTek Semiconductor on pühendunud suurepäraste toodete ja tehniliste lahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Loodame siiralt, et saame teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:

CVD TaC katte põhilised füüsikalised omadused：