VeTek Semiconductor on juhtiv tantaalkarbiidiga kaetud planetaarse pöörlemisketta tootja ja uuendaja Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud keraamilisele katmisele. Meie toodetel on kõrge puhtusaste ja kõrge temperatuuritaluvus. Ootame, et saame teie pikaajaliseks partneriks Hiina.
Kvaliteetset tantaalkarbiidiga kaetud planetaarset pöörlevat ketast pakub Hiina tootja VeTek Semiconductor. OstaTantaalkarbiidiga kaetudPlanetaarne pöörlemisketas, mis on kõrge kvaliteediga otse madala hinnaga.
Tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas on AIXTRON G10 MOCVD süsteemi jaoks mõeldud lisaseade, mille eesmärk on tõsta pooljuhtide tootmise tõhusust ja kvaliteeti. Kvaliteetsetest materjalidest valmistatud ja täpselt valmistatud tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas pakub silmapaistvat jõudlust ja töökindlustMetallorgaaniline keemiline aurustamine-sadestamine (MOCVD) protsessid.
Planetaarne ketas on valmistatud grafiidist aluspinnast, mis on kaetudCVD TaC, mis tagab suurepärase termilise stabiilsuse, kõrge puhtuse ja vastupidavuse kõrgetele temperatuuridele.
Planetary Disk, mida saab kohandada erinevate pooljuhtplaatide suuruste jaoks, sobib erinevatele tootmisnõuetele. Selle tugev konstruktsioon on spetsiaalselt loodud vastu pidama MOCVD-süsteemi nõudlikele töötingimustele, tagades pikaajalise jõudluse ning minimeerides vahvlikandjate ja sustseptoritega seotud seisakuid ja hoolduskulusid.
Planetaarse kettagaAIXTRON G10 MOCVD süsteemvõib saavutada pooljuhtide tootmisel suurema efektiivsuse ja paremaid tulemusi. Selle erakordne termiline stabiilsus, ühilduvus erinevate suurustega vahvlitega ja usaldusväärne jõudlus muudavad selle oluliseks tööriistaks tootmise efektiivsuse optimeerimiseks ja silmapaistvate tulemuste saavutamiseks keerulises MOCVD keskkonnas.
TaC katte füüsikalised omadused | |
Tihedus | 14,3 (g/cm³) |
Eriemissioon | 0.3 |
Soojuspaisumise koefitsient | 6,3*10-6/K |
Kõvadus (HK) | 2000 HK |
Vastupidavus | 1 × 10-5Ohm*cm |
Termiline stabiilsus | <2500 ℃ |
Grafiidi suurus muutub | -10-20 um |
Katte paksus | ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |