Ränikarbiidist vahvlipadrun

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck kasutab ränikarbiidi materjalide suurepäraseid omadusi, et täita pooljuhtide tootmise rangeid nõudeid, eriti pooljuhtide töötlemisel, mis nõuab äärmiselt suurt täpsust ja töökindlust.

Pooljuhtide töötlemise protsessisRänikarbiidon suurepärase kõrge temperatuuritaluvusega (võib töötada stabiilselt kuni 1400 °C juures), madala juhtivusega (SiC on suhteliselt madala juhtivusega, tavaliselt 10^^-3S/m) ja madal soojuspaisumistegur (umbes 4,0 × 10^^-6/°C), mis on asendamatu ja oluline materjal, mis sobib eriti hästi ränikarbiidist vahvlipadrunite valmistamiseks.

Ajalepitaksiaalne kasvuprotsess, sadestatakse substraadile õhuke pooljuhtmaterjali kiht, mis nõuab vahvlilt absoluutset stabiilsust, et tagada ühtlased ja kvaliteetsed kilesadestuskihid. SiC vaakumpadrun saavutab selle, luues kindla ja ühtlase vaakumi hoidmise, et vältida vahvli liikumist või deformatsiooni.

Ränikarbiid Wafer Chuck pakub ka suurepärast vastupidavust termilisele šokile. Kiired temperatuurimuutused on pooljuhtide valmistamisel tavalised ja materjalid, mis neid kõikumisi ei talu, võivad praguneda, painduda või ebaõnnestuda. Ränikarbiidil on madal soojuspaisumise koefitsient ning see suudab säilitada oma kuju ja funktsiooni isegi drastiliste temperatuurimuutuste korral, tagades, et vahvel püsib epitakseerimisprotsessi ajal turvaliselt ilma liikumise või vale asetuseta.

Veelgi enam,epitaksia protsesshõlmab sageli reaktiivseid gaase ja muid söövitavaid kemikaale. SiC Wafer Chucki keemiline inertsus tagab, et need karmid keskkonnad seda ei mõjuta, säilitades selle jõudluse ja pikendades selle kasutusiga. See keemiline vastupidavus mitte ainult ei vähenda Wafer Chucki vahetamise sagedust, vaid tagab ka toote ühtlase jõudluse mitme tootmistsükli jooksul, aidates parandada pooljuhtide tootmisprotsessi üldist tõhusust ja kulutasuvust.

VeTek Semiconductor on Hiinas juhtiv ränikarbiidist vahvlipadruni toodete tootja ja tarnija. Pakume erinevat tüüpi Chucki tooteid, näiteksPoorne SiC keraamiline padrun, Poorne SiC vaakumpadrun, Poorne keraamiline vaakumpadrunjaTaC-kattega padrunjne. VeTek Semiconductor on pühendunud kõrgtehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Loodame siiralt, et saame teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

SEM-ANDMED OF CVDSIC FILMIKRISTALLI STRUKTUUR：

VeTeki pooljuht-ränikarbiidi vahvlipadrunite kauplused：