ränikarbiidist keraamilise kattega grafiitküttekeha

VeTeki pooljuht Ränikarbiidist keraamilise kattega grafiitkütteseadeühendab endas grafiidi suurepärase elektri- ja soojusjuhtivuse ning räni süsinikkeraamilise katte kõrge temperatuurikindluse, korrosioonikindluse ja kulumiskindluse ning on mõeldud karmides pooljuhtide tootmiskeskkondades. 

Ränikarbiidist keraamilise kattega grafiitküttekehakasutatakse peamiselt vaakumkatmise (aurustamise) seadmetes ning tavaliselt kasutatavad meetodid on PCD (plasma keemiline kuivatamine) ja PVD (füüsiline aurustamine-sadestamine). See toode on mänginud olulist rolli tehnoloogilise arengu edendamisel ja pooljuhtide tööstuse tootmistõhususe parandamisel.Ootame siiralt edasist koostööd teiega.

Ränikarbiidist keraamilise kattega grafiitkütteseade materjalid ja konstruktsioonilised omadused on järgmised:

Grafiidist substraat: Grafiit on tuntud oma kõrge soojusjuhtivuse ja madala soojuspaisumise koefitsiendi poolest. See suudab kiiresti reageerida temperatuurimuutustele ja säilitada kõrgetel temperatuuridel struktuuri stabiilsust.

Ränisüsinik keraamiline kate: SiC kate kaetakse ühtlaselt grafiidi pinnale keemilise aurustamise-sadestamise või muude täiustatud protsesside abil. SiC on äärmiselt kõrge kõvaduse ja keemilise korrosioonikindlusega, mis võib kaitsta grafiidist aluspinda kõrge temperatuuriga oksüdatsiooni ja söövitava keskkonna eest.

Ränikarbiidist keraamilise kattega grafiitkütteseade tootekonstruktsiooni spetsiaalne disain määrabselle toote asendamatud eelised pooljuhtide töötlemise protsessis:

Tõhus ja ühtlane küte:

Soojusjuhtivus: Grafiidi kõrge soojusjuhtivus võimaldab kerisel kiiresti saavutada ja hoida vajalikku temperatuuri ning SiC kate tagab ühtlase soojusjaotuse. See on eriti oluline pooljuhtprotsesside puhul, mis nõuavad täpset temperatuuri reguleerimist, nagu kiire termiline töötlemine (RTP) ja keemiline aurustamine-sadestamine (CVD).

Temperatuuri ühtlus: Läbi ühtlase soojusjaotuse saab ränikarbiidi keraamilise kattega grafiitkütteseade tõhusalt vähendada termilist pinget ja temperatuuri gradienti, tagades pooljuhtplaatide järjepidevuse ja kvaliteedi stabiilsuse kogu kuumutamisprotsessi vältel.

Korrosioonivastane kaitse:

Keemiline vastupidavus: SiC-katte keemiline korrosioonikindlus võimaldab kütteseadmel stabiilselt ja pikka aega töötada söövitavas gaasi- ja keemilises keskkonnas, vältides grafiidist aluspinna kahjustamist. See funktsioon on eriti oluline selliste protsesside puhul nagu keemiline aurustamine-sadestamine (CVD) ja plasma tõhustatud keemiline aurustamine-sadestamine (PECVD).

Oksüdatsioonikindlus: Kõrgetel temperatuuridel võib SiC kate takistada grafiidist substraadi oksüdeerumist, pikendada küttekeha kasutusiga ning vähendada seadmete hoolduse sagedust ja kulusid.

Vähendage osakeste saastumist:

Pinna stabiilsus: SiC kate pole mitte ainult kulumiskindel, vaid hoiab ära ka osakeste langemise materjali pinnalt termilise tsükli või keemiliste reaktsioonide tõttu, vähendades seeläbi pooljuhtide valmistamisel tekkida võiva osakeste saastumise ohtu ja tagades kõrge puhtusega protsessikeskkonna.

Parandage protsessi usaldusväärsust ja tõhusust:

Pikaealine disain: Tänu grafiidi mehaanilise tugevuse ja ränikarbiidi katte kulumiskindluse kombinatsioonile suudab ränikarbiidi keraamilise kattega grafiitkütteseade säilitada kõrge efektiivsusega töö pikka aega karmides protsessitingimustes, parandades oluliselt seadmete üldist töökindlust.

Tõhus energiakasutus: Grafiidi kõrge soojusjuhtivus ja SiC katte kõrge temperatuuri stabiilsus võimaldavad kütteseadmel vähendada energiatarbimist, parandades samal ajal temperatuuri reguleerimise täpsust, parandades seeläbi pooljuhtide tootmise üldist efektiivsust.

Põhilised füüsikalised omadusedRänikarbiidist keraamilise kattega grafiitkütteseade:

VeTeki pooljuhtRänikarbiidist keraamilise kattega grafiitkütteseadekauplused:

Ülevaade pooljuhtkiipide epitaksitööstuse ahelast:

/muu protsess