ränikarbiidist keraamilise kattega kütteseade

VeTek pooljuhtSilicon Carbide Ceramic Coating Coating Heater on kütteseade, mis on mõeldud kõrge temperatuuri ja karmi keskkonna jaoks. See katab kütteelemendi pinnale ränisüsinikkeraamilise kattekihi (SiC), et tagada seadmele suurepärane kuumakindlus, korrosioonikindlus ja soojusjuhtivus. 

Ränikarbiidist keraamilise kattega kütteseadekasutatakse peamiselt vaakumkatte (aurustamise) seadmetes. Tavaliselt kasutatavad meetodid on PCD (plasmakeemiline kuivatamine) ja PVD (füüsiline aurustamine-sadestamine), mida kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmises ja muudes suure nõudlusega tööstuslikes rakendustes.

Koos ränikarbiidi keraamilise katmisoojendi suure jõudlusega kattekihiga,see võib pakkuda suurepärast küttelahendust kõrge temperatuuriga protsesside jaoks.

Suurepärane soojusjuhtivus: SiC materjalil on suurepärane soojusjuhtivus, mis tagab, et kütteseade suudab saavutada ühtlase soojusjaotuse tööpiirkonnas ja vähendada temperatuuri gradiente.

Tagage ühtlane soojusjaotus: Silicon Carbide keraamilise kattega kütteseade kasutab SiC materjali kõrget soojusjuhtivust, et saavutada ühtlane temperatuurijaotus kogu küttepiirkonnas. See on ülioluline, et tagada pooljuhtplaatide ühtlane kuumtöötlemine erinevates kõrge temperatuuriga protsessides, nagu kiire termiline töötlemine (RTP), difusioon ja oksüdatsioon, vältides toote defekte, mis on põhjustatud kohalikust ülekuumenemisest või ebaühtlasest temperatuurist.

Kõrge temperatuuri taluvus: SiC kate võimaldab kütteseadmel taluda ülikõrgeid temperatuure, tavaliselt kuni 1600°C, sobides erinevateks kõrgtemperatuurilisteks töötlemisprotsessideks.

Parandage kuumakindlust: Kuna kate talub ülikõrgeid temperatuure, toimib see hästi protsessides, mis nõuavad pikaajalist kõrgel temperatuuril töötamist. Näiteks keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessides võib ränikarbiidi keraamilise kattega kütteseade tagada seadmete pikaajalise stabiilse töö kõrgetel temperatuuridel ja säilitada ühtlase kuumutamise, parandades seeläbi protsessi korratavust ja töökindlust.

Keemiline korrosioonikindlus: SiC kate on äärmiselt kõrge vastupidavusega hapetele, leelistele ja söövitavatele gaasidele ning võib püsida stabiilsena pikka aega keerulises keemilises keskkonnas, pikendades seadme eluiga. 

Seadme eluea pikendamine: SiC kate on suurepärase oksüdatsiooni- ja korrosioonikindlusega ning suudab tõhusalt vastu pidada keemilisele erosioonile ja oksüdatsioonile kõrgetel temperatuuridel. See on pooljuhtide tootmisprotsessis väga kriitiline, eriti keskkonnas, mis käsitleb söövitavaid gaase ja kemikaale. Katte kaitsev toime võib oluliselt pikendada küttekeha kasutusiga ning vähendada seadmete vahetus- ja hoolduskulusid.

Ränikarbiidi keraamilise kattega küttekeha peamised füüsikalised omadused:

VeTek pooljuht ränikarbiidi keraamilise kattega küttekehade kauplused:

Ülevaade VeTeki pooljuhtkiibi epitaksitööstuse ketist: