TaC Coating Varuosa

VeTeki pooljuhtTaC katteplaaton spetsiaalne materjal, mida kasutatakse laialdaseltpooljuhttootmisprotsess. Koos oma kõrge kõvaduse ja kulumiskindluse, kõrge temperatuurikindluse, korrosioonikindluse, madala hõõrdeteguri ja hea soojusjuhtivusega mängib TaC katteplaat asendamatut rolli paljudes pooljuhtide töötlemise lülides.

Üldiselt on rakendusedTaC-ga kaetud plaadidpooljuhtide töötlemisel on järgmised:

CVD/ALD kasvusubstraat: TaC-kattega plaatide kõrge temperatuuritaluvus, keemiline stabiilsus ja madal hõõrdetegur muudavad need ideaalseteks CVD/ALD kasvualusteks. See võib pakkuda stabiilset kasvukeskkonda, et tagada kile ühtlus ja tihedus.

Söövitamaski plaat: TaC-kattega plaatide kõrge kõvadus ja korrosioonikindlus võimaldavad neil vastu pidada suure energiakuluga protsessidele, nagu plasmasöövitus, söövitavate maskiplaatidena, kaitstes nende all olevat kilet.

CMP poleerimispadi: TaC-kattega plaatide kulumiskindlus ja madal hõõrdetegur muudavad need ideaalseks materjaliks CMP-poleerimispatjade jaoks, mis eemaldavad tõhusalt osakesed ja defektid kile pinnalt.

Kõrge temperatuuriga ahju toru: TaC-ga kaetud plaatide kõrge temperatuurikindlus ja korrosioonikindlus võimaldavad neid kasutada ahjutorudena kõrge temperatuuriga ahjudes kõrgel temperatuuril lõõmutamiseks, difusiooniks ja muudeks protsessideks.

Koos toote omadustegaTaC katteplaat, määrab see, et sellel tootel on asendamatu võtmeroll seadme jõudluse parandamisel, seadmete eluea pikendamisel ja tootmise efektiivsuse parandamisel. 

Professionaalse tootjanaGaN SiC epi aktseptoril, Poorne grafiitjaTaC katteplaatHiinas nõuab VeTek Semiconductor alati kohandatud tooteteenuste pakkumist ning on pühendunud tööstusele tipptehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele. Ootame siiralt teie edasist konsultatsiooni.

CVD TAC COATING Tehnilised parameetrid：

TaC Coating varuosade kauplused：

Ülevaade pooljuhtkiipide epitaksitööstuse ahelast：