TaC katte pöörlemisplaat

VeTek Semiconductori TaC katte pöörlemisplaadil on silmapaistev TaC kate. Erakordse TaC kattega TaC Coating Rotation Plate plaatidel on märkimisväärne vastupidavus kõrgele temperatuurile ja keemiline inertsus, mis eristab seda traditsioonilistest lahendustest. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimelise hinnaga. hinnad ja loodan olla teie pikaajaline partner Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

VeTek Semiconductori TaC katte pöörlemisplaadil on kõrge puhtusastmega koostis, lisandite sisaldus alla 5 ppm ning tihe ja ühtlane struktuur, mida kasutatakse laialdaselt LPE EPI süsteemides, Aixtroni süsteemides, Nuflare süsteemides, TEL CVD süsteemides, VEECO süsteemides, KTKdes. süsteemid.

Suurepärased mehaanilised omadused:

Katte kõvadus kuni 2300HV, suurepärase kulumiskindlusega.

Katte ja aluspinna nake on tugev ning seda ei ole kerge maha kukkuda ega kooruda.

Kate suudab kõrgel temperatuuril säilitada hea struktuurse stabiilsuse.

Suurepärane korrosioonikindlus:

TaC materjalil endal on suurepärane keemiline stabiilsus ja korrosioonikindlus.

VeTeki pooljuhtkatted toimivad hästi erinevates agressiivsetes gaasikeskkondades.

Võib tõhusalt kaitsta seadmete sisemisi komponente korrosioonikahjustuste eest.

Kõrge pinnaviimistlus:

VeTek pooljuht kasutab soovitud viimistluse saamiseks täpset katmisprotsessi.

Madal pinnakaredus aitab vähendada osakeste kogunemist ja sadestumist.

Katte konsistents on hea:

VeTek Semiconductoril on helikvaliteedikontrollisüsteem, mis tagab ühtlase jõudluse partiide vahel.

Katte paksus on ühtlaselt jaotunud ja ilmseid lokaalseid defekte ei esine.

Suurepärane praktiline rakenduse jõudlus:

VeTeki pooljuhtide TaC katet kasutatakse laialdaselt paljudes tuntud epitaksiaalseadmete tootjates nii kodu- kui välismaal.

TaC-kattega pöörleva plaadi tooteparameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6,3 10-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1×10-5 Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)