VeTek Semiconductori ainulaadsed karbiidkatted pakuvad grafiidist osadele ülimat kaitset nõudlike pooljuht- ja komposiitpooljuhtmaterjalide töötlemisel SiC Epitaxy protsessis. Tulemuseks on grafiidikomponentide pikendatud eluiga, reaktsiooni stöhhiomeetria säilimine, lisandite migratsiooni pärssimine epitaksia ja kristallide kasvatamise rakendustesse, mille tulemuseks on suurenenud saagis ja kvaliteet.
Meie tantaalkarbiidi (TaC) katted kaitsevad kriitilisi ahju ja reaktori komponente kõrgetel temperatuuridel (kuni 2200°C) kuuma ammoniaagi, vesiniku, räni aurude ja sulametallide eest. VeTek Semiconductoril on lai valik grafiiditöötlus- ja mõõtmisvõimalusi, mis vastavad teie kohandatud nõuetele, nii et saame pakkuda tasulist katet või täisteenust koos meie ekspertide meeskonnaga, kes on valmis kujundama teile ja teie konkreetsele rakendusele sobiva lahenduse. .
Liitpooljuhtkristallid
VeTek Semiconductor võib pakkuda erinevatele komponentidele ja kandjatele spetsiaalseid TaC-katteid. VeTek Semiconductori tööstusharu juhtiva katmisprotsessi kaudu võib TaC-kate saavutada kõrge puhtuse, kõrge temperatuuri stabiilsuse ja kõrge keemilise vastupidavuse, parandades seeläbi kristallide TaC / GaN) ja EPl kihtide kvaliteeti ning pikendades kriitiliste reaktori komponentide eluiga.
Soojusisolaatorid
SiC, GaN ja AlN kristallide kasvatamise komponendid, sealhulgas tiiglid, seemnehoidikud, deflektorid ja filtrid. Tööstuslikud sõlmed, sealhulgas takistuslikud kütteelemendid, düüsid, varjestusrõngad ja kõvajoodisega kinnitusdetailid, GaN- ja SiC-epitaksiaalsed CVD-reaktori komponendid, sealhulgas vahvlikandurid, satelliidialused, dušipead, korgid ja pjedestaalid, MOCVD komponendid.
LED (valgusdiood) vahvlikandja
ALD (Semiconductor) vastuvõtja
EPI retseptor (SiC epitaksiprotsess)
TaC-kattega satelliitsuceptor TaC katte sustseptor ja rõngas TaC katte osad Halfmoon osad TaC kattega
SiC | TaC | |
Põhijooned | Ülimalt kõrge puhtusastmega, suurepärane plasmakindlus | Suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus (kõrge temperatuuriga protsessi vastavus) |
Puhtus | >99,9999% | >99,9999% |
Tihedus (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Kõvadus (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Takistus [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Soojusjuhtivus (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Soojuspaisumistegur (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Rakendus | Pooljuhtseadmete keraamiline rakis (fookusrõngas, dušipea, näiv vahvel) | SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Seadme osad |
VeTek Semiconductori CVD TaC kattekate on kõrgelt spetsialiseerunud komponent, mis on loodud spetsiaalselt nõudlike rakenduste jaoks. Oma täiustatud funktsioonide ja erakordse jõudlusega pakub meie CVD TaC kattekate mitmeid olulisi eeliseid. Meie CVD TaC kattekate pakub eduks vajalikku kaitset ja jõudlust. Ootame teiega võimaliku koostöö uurimist!
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor on erakordne toode Aixtroni epitaksiseadmete jaoks. Tugev TaC kate tagab suurepärase vastupidavuse kõrgele temperatuurile ja keemilise inertsuse. See ainulaadne kombinatsioon tagab usaldusväärse jõudluse ja pika kasutusea isegi nõudlikes keskkondades. VeTek on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele ja konkurentsivõimelise hinnaga pikaajalise partnerina Hiina turule.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori TaC kattega pjedestaali tugiplaat on ülitäpne toode, mis on loodud vastama pooljuhtide epitaksiprotsesside spetsiifilistele nõuetele. Oma TaC-katte, kõrge temperatuurikindluse ja keemilise inertsusega annab meie toode teile võimaluse toota kõrge kvaliteediga kvaliteetseid EPI kihte. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame olla teie pikaajaline partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori TaC-katte padrunil on kvaliteetne TaC-kate, mis on tuntud oma silmapaistva kõrge temperatuurikindluse ja keemilise inertsuse poolest, eriti ränikarbiidi (SiC) epitaksi (EPI) protsessides. Oma erakordsete omaduste ja suurepärase jõudlusega pakub meie TaC kattepadrun mitmeid olulisi eeliseid. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori LPE SiC Epi Halfmoon, revolutsiooniline toode, mis on loodud LPE reaktori SiC epitaksiprotsesside tõstmiseks. Sellel tipptasemel lahendusel on mitu põhifunktsiooni, mis tagavad suurepärase jõudluse ja tõhususe kogu teie tootmistegevuse vältel. Ootan teiega pikaajalist koostööd.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on Hiinas juhtiv tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu tootja ja tarnija, oleme spetsialiseerunud uurimis- ja arendustegevusele ning tootmisele, suudame kvaliteeti hästi kontrollida ja pakkuda konkurentsivõimelist hinda. Olete teretulnud külastama meie tehast, et arutada pikaajalist koostööd.
Loe rohkemSaada päring