TaC-kattega planetaarne sustseptor

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor on erakordne toode Aixtroni epitaksiseadmete jaoks. Tugev TaC kate tagab suurepärase vastupidavuse kõrgele temperatuurile ja keemilise inertsuse. See ainulaadne kombinatsioon tagab usaldusväärse jõudluse ja pika kasutusea isegi nõudlikes keskkondades. VeTek on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele ja konkurentsivõimelise hinnaga pikaajalise partnerina Hiina turule.

Saada päring

Tootekirjeldus

Pooljuhtide tootmise valdkonnas mängib TaC-kattega planetaarne sustseptor üliolulist rolli. Seda kasutatakse laialdaselt ränikarbiidi (SiC) epitaksiaalsete kihtide kasvatamisel sellistes seadmetes nagu Aixtron G5 süsteem. Lisaks, kui seda kasutatakse välise kettana tantaalkarbiidi (TaC) kattekihina ränikarbiidi epitakseerimiseks, pakub TaC-kattega planetaarne sustseptor olulist tuge ja stabiilsust. See tagab tantaalkarbiidikihi ühtlase ladestumise, aidates kaasa kvaliteetsete epitaksiaalsete kihtide moodustumisele, millel on suurepärane pinnamorfoloogia ja soovitud kile paksus. TaC katte keemiline inertsus hoiab ära soovimatud reaktsioonid ja saastumise, säilitades epitaksiaalsete kihtide terviklikkuse ja tagades nende suurepärase kvaliteedi.

TaC katte erakordne soojusjuhtivus võimaldab tõhusat soojusülekannet, soodustades ühtlast temperatuurijaotust ja minimeerides termilist stressi epitaksiaalse kasvuprotsessi ajal. Selle tulemuseks on kvaliteetsete SiC epitaksiaalsete kihtide tootmine, millel on paremad kristallograafilised omadused ja suurem elektrijuhtivus.

TaC Coating Planetary Disk täpsed mõõtmed ja tugev konstruktsioon muudavad selle hõlpsaks integreerimise olemasolevatesse süsteemidesse, tagades sujuva ühilduvuse ja tõhusa töö. Selle usaldusväärne jõudlus ja kvaliteetne TaC-kate aitavad kaasa järjekindlatele ja ühtsetele tulemustele SiC epitaksiprotsessides.

Usaldage VeTek Semiconductorit ja meie TaC Coating Planetary Diski erakordse jõudluse ja töökindluse tagamiseks ränidioksiidi epitaksis. Kogege meie uuenduslike lahenduste eeliseid, asetades teid pooljuhtide tööstuse tehnoloogiliste edusammude esirinnas.

Tarnime TaC-katte ja SiC-kattega varuosi:

TaC Coating Planetary Susceptori tooteparameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6,3 10-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1×10-5 Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)