CVD SiC kate Epitaxy sustseptor

VeTek Semiconductori CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor on täpselt konstrueeritud tööriist, mis on loodud pooljuhtplaatide käitlemiseks ja töötlemiseks. See SiC Coating Epitaxy Susceptor mängib olulist rolli õhukeste kilede, epikihtide ja muude katete kasvu soodustamisel ning suudab täpselt reguleerida temperatuuri ja materjali omadusi. Tere tulemast teie täiendavatele päringutele.

Saada päring

Tootekirjeldus

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor on teatud tüüpiMOCVD LED Epi sustseptor, mis mängib CVD reaktoris keskset rolli. Epi Susceptorina pole see mitte ainult soojusallikas, vaid pakub ka sadestamisprotsessi ajal substraadile stabiilset tugiplatvormi.SiC katevõib tõhusalt vähendada Graphite Susceptori oksüdatsiooni ja saastumist kõrge temperatuuriga keskkondades, tagades seeläbi ladestunud materjali kõrge puhtuse.

PõhilineCVD SiC katte füüsikalised omadused:

CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused
Kinnisvara	Tüüpiline väärtus
Kristalli struktuur	FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud
Tihedus	3,21 g/cm³
Kõvadus	2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g)
Tera suurus	2-10 μm
Keemiline puhtus	99,99995%
Soojusvõimsus	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatsiooni temperatuur	2700 ℃
Paindetugevus	415 MPa RT 4-punktiline
Youngi moodul	430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃
Soojusjuhtivus	300W·m^-1·K^-1
Soojuspaisumine (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor toote eelised:

● Täpne ladestamine: CVD SiC Coating Epitaxy Susceptori abil saate saavutada õhukeste kilede ja kattekihtide täpselt kontrollitud sadestamise, et saada kvaliteetseid ja korratavaid tulemusi.

● Vähendatud saastumine: SiC kate minimeerib saastumise riskiEpi Suceptorpõhinev grafiit, mis tagab ladestatud materjali puhtuse.

● Vastupidavus: SiC kate suurendab Graphite Epitaxy Susceptori oksüdatsioonikindlust ja keemilist korrosioonikindlust, andes sellele pikema kasutusea ja suurema töökindluse.

VeTeki pooljuhton pühendunud kvaliteetsete toodete ja konkurentsivõimeliste hindade pakkumisele. Kas see onKui EPI vastuvõtjavõi kõrge puhtusastmega grafiidist EPI-susceptor, saame teie vajadustele vastata. Ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.

VeTeki pooljuhtCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor tootepoed: