MOCVD sustseptor TaC kattega

VeTek Semiconductor on laiaulatuslik tarnija, kes tegeleb TaC-katete ja SiC-katte osade uurimise, arendamise, tootmise, projekteerimise ja müügiga. Meie teadmised seisnevad tipptasemel TaC-kattega MOCVD-susceptori tootmises, mis mängivad LED-epitaksiprotsessis üliolulist rolli. Ootame teid meiega päringuid ja lisateavet arutama.

Saada päring

Tootekirjeldus

VeTek Semiconductor on juhtiv Hiina tootja, tarnija ja eksportija, kes on spetsialiseerunud TaC-kattega MOCVD-susceptorile. Olete teretulnud meie tehasesse, et osta uusimaid müüdavaid, madala hinnaga ja kvaliteetseid TaC-kattega MOCVD-susceptoreid. Ootame teiega koostööd.

LED-epitaksia seisab silmitsi selliste väljakutsetega nagu kristallide kvaliteedikontroll, materjalide valik ja sobitamine, konstruktsiooni projekteerimine ja optimeerimine, protsessi juhtimine ja järjepidevus ning valguse eraldamise tõhusus. Õige epitaksivahvli kandjamaterjali valimine on ülioluline ning selle katmine tantaalkarbiidi (TaC) õhukese kilega (TaC-kate) annab täiendavaid eeliseid.

Epitaksivahvli kandjamaterjali valimisel tuleb arvestada mitmete võtmeteguritega:

Temperatuuritaluvus ja keemiline stabiilsus: LED-i epitaksiprotsessid hõlmavad kõrgeid temperatuure ja võivad hõlmata kemikaalide kasutamist. Seetõttu on vaja valida hea temperatuuritaluvusega ja keemilise stabiilsusega materjalid, et tagada kandja stabiilsus kõrgel temperatuuril ja keemilises keskkonnas.

Pinna tasasus ja kulumiskindlus: epitaksivahvli kandja pind peab olema hea tasapinnaga, et tagada epitaksvahvli ühtlane kontakt ja stabiilne kasv. Lisaks on kulumiskindlus oluline, et vältida pinnakahjustusi ja hõõrdumist.

Soojusjuhtivus: Hea soojusjuhtivusega materjali valimine aitab soojust tõhusalt hajutada, säilitades stabiilse kasvutemperatuuri epitaksikihi jaoks ning parandades protsessi stabiilsust ja konsistentsi.

Sellega seoses pakub epitaksivahvli kandja katmine TaC-ga järgmisi eeliseid:

Stabiilsus kõrgel temperatuuril: TaC-kattel on suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus, mis võimaldab säilitada oma struktuuri ja jõudlust kõrgel temperatuuril toimuva epitaksiprotsessi ajal ning tagab suurepärase temperatuuritaluvuse.

Keemiline stabiilsus: TaC kate on vastupidav tavaliste kemikaalide ja atmosfääri korrosioonile, kaitstes kandjat keemilise lagunemise eest ja suurendades selle vastupidavust.

Kõvadus ja kulumiskindlus: TaC-kattel on kõrge kõvadus ja kulumiskindlus, mis tugevdab epitaksivahvli kandja pinda, vähendab kahjustusi ja kulumist ning pikendab selle eluiga.

Soojusjuhtivus: TaC-kattel on hea soojusjuhtivus, mis aitab kaasa soojuse hajumisele, säilitab epitaksikihi stabiilse kasvutemperatuuri ning parandab protsessi stabiilsust ja konsistentsi.

Seetõttu aitab TaC-kattega epitaksivahvlikandja valimine lahendada LED-epitaksia väljakutseid, täites kõrge temperatuuri ja keemilise keskkonna nõudeid. See kate pakub selliseid eeliseid nagu stabiilsus kõrgel temperatuuril, keemiline stabiilsus, kõvadus ja kulumiskindlus ning soojusjuhtivus, aidates kaasa epitaksivahvli kandja jõudluse, eluea ja tootmistõhususe paranemisele.

TaC-katte peamised füüsikalised omadused:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6,3 10-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1×10-5 Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)