Tantaalkarbiidi tehnoloogia läbimurre, ränikarbiidi epitaksiaalreostus vähenes 75%?

Hiljuti on Saksa uurimisinstituut Fraunhofer IISB teinud läbimurde teadus- ja arendustegevuses.tantaalkarbiidiga katmise tehnoloogia, ja töötas välja pihustuskatte lahenduse, mis on paindlikum ja keskkonnasõbralikum kui CVD-sadestamislahus, ning on turule toodud.

Ja kodumaine veteki pooljuht on selles valdkonnas samuti läbimurdeid teinud, vaadake üksikasju allpool.

Fraunhofer IISB:

Uue TaC kattetehnoloogia väljatöötamine

5. märtsil meedia andmetel "Ühendpooljuht", on Fraunhofer IISB välja töötanud uuetantaalkarbiidi (TaC) katmistehnoloogia- Taccotta. Tehnoloogialitsents on üle antud Nippon Kornmeyer Carbon Groupile (NKCG) ja NKCG on hakanud oma klientidele pakkuma TaC-kattega grafiitosi.

Traditsiooniline meetod TaC-katete tootmiseks tööstuses on keemiline aurustamine-sadestamine (CVD), millel on puudused, nagu kõrged tootmiskulud ja pikad tarneajad. Lisaks sellele on CVD-meetodil kalduvus komponentide korduval kuumutamisel ja jahutamisel TaC-i pragunemisele. Need praod paljastavad grafiidi, mis aja jooksul oluliselt laguneb ja vajab väljavahetamist.

Taccotta uuendus seisneb selles, et see kasutab veepõhist pihustuskatmise meetodit, millele järgneb temperatuuritöötlus, et moodustada kõrge mehaanilise stabiilsusega ja reguleeritava paksusega TaC-kate.grafiidist substraat. Katte paksust saab reguleerida 20 mikronist 200 mikronini, et see sobiks erinevate kasutusnõuetega.

Fraunhofer IISB välja töötatud TaC protsessitehnoloogia suudab reguleerida vajalikke katteomadusi, näiteks paksust, nagu allpool näidatud vahemikus 35 μm kuni 110 μm

Täpsemalt, Taccotta pihustuskattel on ka järgmised põhiomadused ja eelised:

● Keskkonnasõbralikum: veepõhise pihustuskattega on see meetod keskkonnasõbralikum ja seda on lihtne industrialiseerida;

● Paindlikkus: Taccotta tehnoloogia suudab kohanduda erineva suuruse ja geomeetriaga komponentidega, võimaldades osalist katmist ja komponentide uuendamist, mis CVD puhul pole võimalik.

● Vähendatud tantaalireostus: Taccotta kattega grafiitkomponente kasutatakse ränikarbiidi epitaksiaalses tootmises ja tantaalireostus väheneb 75% võrreldes olemasolevaga.CVD katted.

● Kulumiskindlus: kriimustustestid näitavad, et katte paksuse suurendamine võib kulumiskindlust oluliselt parandada.

Kriimustuste test

Teatatakse, et NKCG, ühisettevõte, mis keskendub suure jõudlusega grafiitmaterjalide ja nendega seotud toodete pakkumisele, on selle tehnoloogia turustamist edendanud. NKCG osaleb tulevikus ka pikemat aega Taccotta tehnoloogia arendamisel. Ettevõte on hakanud oma klientidele pakkuma Taccotta tehnoloogial põhinevaid grafiitkomponente.

Vetek Semiconductor soodustab TaC lokaliseerimist

2023. aasta alguses tõi vetek semiconductor turule uue põlvkonnaSiC kristallide kasvsoojusvälja materjal -poorne tantaalkarbiid.

Aruannete kohaselt on vetek pooljuht käivitanud läbimurde arendusespoorne tantaalkarbiidsuure poorsusega sõltumatu tehnoloogiaalase uurimis- ja arendustegevuse kaudu. Selle poorsus võib ulatuda kuni 75% -ni, saavutades rahvusvahelise juhtpositsiooni.