> Tooted > Ränikarbiidi kate > Silicon Epitaxy > SiC-kattega pannkoogi susseptor LPE PE3061S 6'' vahvlitele

Uued tooted

SiC-kattega pannkoogi susseptor LPE PE3061S 6'' vahvlitele

VeTek Semiconductor on juhtiv SiC-kattega pannkoogi susceptor LPE PE3061S 6-tolliste vahvlite tootjaks ja uuendajaks Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud SiC-kattematerjalidele.Pakume SiC-kattega pannkoogisusseptorit, mis on loodud spetsiaalselt LPE PE3061S 6-tolliste vahvlite jaoks. . Sellel epitaksiaalsel sustseptoril on kõrge korrosioonikindlus, hea soojusjuhtivus ja hea ühtlus. Tere tulemast külastama meie Hiina tehast.

Saada päring

Tootekirjeldus

Professionaalse tootjana soovib VeTek Semiconductor pakkuda teile kvaliteetset SiC-kattega pannkoogi susceptorit LPE PE3061S 6-tolliste vahvlite jaoks.

VeTeK Semiconductor SiC kaetud pannkoogi susceptor LPE PE3061S 6" vahvlitele on pooljuhtide tootmisprotsessides kasutatav kriitiline seade.

SiC-kattega pannkoogi susceptor LPE PE3061S 6" vahvlitele Toote omadused:

Kõrge temperatuuri stabiilsus: ränikarbiidil on suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus, säilitades oma struktuuri ja jõudluse kõrge temperatuuriga keskkondades.

Silmapaistev soojusjuhtivus: SiC-l on erakordne soojusjuhtivus, mis võimaldab kiiret ja ühtlast soojusülekannet kiireks ja ühtlaseks kuumutamiseks.

Korrosioonikindlus: SiC-l on suurepärane keemiline stabiilsus, mis on vastupidav korrosioonile ja oksüdatsioonile erinevates küttekeskkondades.

Ühtlane kuumutusjaotus: SiC-kattega vahvlikandja tagab ühtlase kuumuse jaotuse, tagades kuumutamise ajal ühtlase temperatuuri vahvli pinnal.

Sobib pooljuhtide tootmiseks: Si epitaksivahvli kandjat kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti Si epitaksi kasvu ja muude kõrge temperatuuriga kuumutamisprotsesside jaoks.

Toote eelised:

Parem tootmise efektiivsus: SiC-kattega pannkoogisusseptor võimaldab kiiret ja ühtlast kuumutamist, lühendades kuumutamisaega ja suurendades tootmise efektiivsust.

Tagatud tootekvaliteet: ühtlane kuumutusjaotus tagab järjepidevuse vahvlite töötlemise ajal, mis parandab toote kvaliteeti.

Seadmete pikendatud eluiga: SiC materjal pakub suurepärast kuumakindlust ja keemilist stabiilsust, aidates kaasa pannkoogisustseptori pikemale elueale.

Kohandatud lahendused: SiC-kattega sustseptor, Si epitaksivahvlikandja saab kohandada vastavalt kliendi nõudmistele erinevatele suurustele ja spetsifikatsioonidele.

SEM data and structure of CVD SIC films

CVD SiC katte peamised füüsikalised omadused:

CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused
Kinnisvara	Tüüpiline väärtus
Kristalli struktuur	FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud
Tihedus	3,21 g/cm³
Kõvadus	2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g)
Tera suurus	2-10 μm
Keemiline puhtus	99,99995%
Soojusvõimsus	640 J·kg-1·K-1
Sublimatsiooni temperatuur	2700 ℃
Paindetugevus	415 MPa RT 4-punktiline
Youngi moodul	430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃
Soojusjuhtivus	300W·m-1·K-1
Soojuspaisumine (CTE)	4,5 × 10-6K-1

VeTeki pooljuhtide tootmispood

VeTek Semiconductor Production Shop

Ülevaade pooljuhtkiipide epitaksitööstuse ahelast:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Kuumad sildid: SiC-kattega pannkoogi susceptor LPE PE3061S 6-tolliste vahvlite jaoks, Hiina, tootja, tarnija, tehas, kohandatud, osta, täiustatud, vastupidav, valmistatud Hiinas

Toote silt

Seotud kategooria