VeTek Semiconductor on professionaalne horisontaalse ahju jaoks mõeldud ränikarbiidist vahvelpaadi tootja ja tarnija Hiinas, kellel on aastatepikkune uurimis- ja arendustegevuse ning tootmise kogemus, mis suudab kvaliteeti hästi kontrollida ja pakkuda konkurentsivõimelist hinda. Võite olla kindel, et ostate meilt ränikarbiidist vahvelpaati horisontaalse ahju jaoks.
Kvaliteetset ränikarbiidist vahvelpaati horisontaalse ahju jaoks pakub Hiina tootja VeTek Semiconductor. Osta ränikarbiidist vahvelpaat horisontaalahjule, mis on kõrge kvaliteediga otse tehasest madala hinnaga. Ränikarbiidist vahvelpaati horisontaalahjule kasutatakse ahjutorudes vahvlite laadimiseks ja teisaldamiseks kõrgel temperatuuril. Ränikarbiidmaterjalide suurepäraste omaduste tõttu, nagu kõrge temperatuurikindlus, keemiline korrosioonikindlus ja termiline stabiilsus, kasutatakse neid laialdaselt erinevates kuumtöötlusprotsessides, nagu difusioon, oksüdatsioon, CVD ja lõõmutamine.
1. Kõrge kõvadus ja kulumiskindlus: ränikarbiidi kõvadus on teemandi järel teine, mistõttu on see väga kulumiskindel. See võimaldab ränikarbiidist paatidel taluda korduvaid mehaanilisi lööke ja hõõrdumist, pikendades nende kasutusiga.
2. Kõrge temperatuuritaluvus: ränikarbiidi sulamistemperatuur on 2730 ° C, mistõttu ränikarbiidist paadid sobivad kõrge temperatuuriga keskkondades ja mitmesugustes pooljuhtide tootmisprotsessides, näiteks kõrge temperatuuriga oksüdatsiooni ja difusiooniga.
3. Madal soojuspaisumise koefitsient: ränikarbiidil on madal soojuspaisumise koefitsient, mis aitab säilitada mõõtmete stabiilsust kõrgetel temperatuuridel, hoides ära paadi deformatsiooni ja mõjutades vahvlite töötlemise täpsust.
4. Hea keemiline stabiilsus: ränikarbiid on vastupidav enamikule kemikaalidele ja ei reageeri tavaliste happe- ja leeliseliste lahustega, tagades vahvlite ohutuse ja puhtuse.
Saame valmistada erinevat tüüpi ränikarbiidist vahvelpaate, näiteks horisontaalset vahvlipaati, vertikaalset vahvlipaati ja muid kohandatud paate.
Ümberkristalliseeritud ränikarbiidi füüsikalised omadused | |
Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
Töötemperatuur (°C) | 1600°C (hapnikuga), 1700°C (redutseeriv keskkond) |
SiC sisu | > 99,96% |
Tasuta Si sisu | < 0,1% |
Puistetiheduse | 2,60-2,70 g/cm3 |
Ilmne poorsus | < 16% |
Survetugevus | > 600 MPa |
Külm paindetugevus | 80–90 MPa (20 °C) |
Kuum paindetugevus | 90–100 MPa (1400 °C) |
Soojuspaisumine @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Soojusjuhtivus @1200°C | 23 W/m•K |
Elastsusmoodul | 240 GPa |
Soojuslöögikindlus | Äärmiselt hea |
Ränikarbiidist vahvelpaat horisontaalsete ahjude jaoks leiab laialdast rakendust pooljuhtide ja fotogalvaanilistes tööstustes:
Vahvlite puhastamine ja söövitamine
Difusioon ja oksüdatsioon
Galvaneerimine ja söövitamine
Keemiline mehaaniline poleerimine (CMP)
Kuumtöötlus
Vahvlite teisaldamine ja ladustamine