VeTek Semiconductor on juhtiv keemilise aurustamise protsesside tahke ränidioksiidi servarõnga tootja ja uuendaja Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud pooljuhtmaterjalidele. VeTek Semiconductor tahke SiC servarõngas pakub elektrostaatilise padruniga kasutamisel paremat söövituse ühtlust ja täpset vahvli positsioneerimist. , tagades ühtsed ja usaldusväärsed söövitustulemused. Ootame, et saame teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Keemilise aurustamise-sadestamise protsessi tahket ränidioksiidi servarõngast kasutatakse kuivsöövitamise rakendustes protsessi juhtimise parandamiseks ja söövitustulemuste optimeerimiseks. See mängib otsustavat rolli plasmaenergia suunamisel ja piiramisel söövitusprotsessi ajal, tagades materjali täpse ja ühtlase eemaldamise. Meie teravustamisrõngas ühildub paljude kuivsöövitussüsteemidega ja sobib erinevateks söövitusprotsessideks erinevates tööstusharudes.
CVD protsessi tahke SiC servarõngas:
● Materjal: teravustamisrõngas on valmistatud tahkest SiC-st, mis on kõrge puhtusastmega ja suure jõudlusega keraamiline materjal. Selle valmistamisel kasutatakse selliseid meetodeid nagu kõrgel temperatuuril paagutamine või ränikarbiidi pulbrite tihendamine. Tahke SiC materjal tagab erakordse vastupidavuse, vastupidavuse kõrgele temperatuurile ja suurepärased mehaanilised omadused.
● Eelised: cvd sic rõngas pakub silmapaistvat termilist stabiilsust, säilitades selle struktuurse terviklikkuse isegi kõrge temperatuuri tingimustes, mida esineb kuivsöövitusprotsessides. Selle kõrge kõvadus tagab vastupidavuse mehaanilisele pingele ja kulumisele, mis pikendab kasutusiga. Veelgi enam, tahkel ränikarbiidil on keemiline inertsus, mis kaitseb seda korrosiooni eest ja säilitab selle toimivuse aja jooksul.
CVD SiC kate:
● Materjal: CVD SiC kate on ränikarbiidi õhukese kilega sadestamine, kasutades keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) tehnikaid. Pinnale SiC omaduste andmiseks kantakse kate alusmaterjalile, nagu grafiit või räni.
● Võrdlus: Kuigi CVD SiC katted pakuvad mõningaid eeliseid, nagu konformne sadestumine keerukatele kujunditele ja häälestatavad kile omadused, ei pruugi need sobida tahke ränikarbiidi vastupidavuse ja jõudlusega. Katte paksus, kristalne struktuur ja pinna karedus võivad sõltuvalt CVD protsessi parameetritest erineda, mis võib mõjutada katte vastupidavust ja üldist jõudlust.
Kokkuvõtteks võib öelda, et VeTek Semiconductor tahke SiC teravustamisrõngas on erakordne valik kuivsöövitamiseks. Selle tahke SiC materjal tagab vastupidavuse kõrgele temperatuurile, suurepärase kõvaduse ja keemilise inertsuse, muutes selle usaldusväärseks ja kauakestvaks lahenduseks. Kuigi CVD SiC kate pakub sadestamisel paindlikkust, on cvd sic rõngas suurepärane vastupidavuse ja jõudluse poolest, mis on vajalik nõudlike kuivsöövitusprotsesside jaoks.
Tahke SiC füüsikalised omadused | |||
Tihedus | 3.21 | g/cm3 | |
Elektritakistus | 102 | Ω/cm | |
Paindetugevus | 590 | MPa | (6000 kgf/cm2) |
Youngi moodul | 450 | GPa | (6000 kgf/mm2) |
Vickersi kõvadus | 26 | GPa | (2650 kgf/mm2) |
C.T.E. (RT-1000 ℃) | 4.0 | x10-6/K | |
Soojusjuhtivus (RT) | 250 | W/mK |