EPI saaja

VeTek Semiconductori EPI-sustseptor on mõeldud nõudlikele epitaksiaalseadmete rakendustele. Selle kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiidi struktuur pakub suurepärast kuumakindlust, ühtlast termilist ühtlust, et tagada epitaksiaalse kihi ühtlane paksus ja vastupidavus, ning pikaajaline keemiline vastupidavus. Ootame teiega koostööd.

Saada päring

Tootekirjeldus

VeTek Semiconductor on professionaalne juhtiv Hiina EPI-vastuvõtja, ALD planetaarvastuvõtja ja TaC-kattega grafiitvastuvõtja tootja. ja meie EPI-sustseptor on selle oluline komponentepitaksiaalne kasvPooljuhtide tootmisprotsessis. Selle põhiülesanne on vahvli toetamine ja kuumutamine, et vahvli pinnale saaks ühtlaselt kasvada kvaliteetne epitaksiaalkiht.

VeTek Semiconductorsi EPI-sustseptorid on tavaliselt valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist ja kaetud ränikarbiidi (SiC) kihiga.Sellel disainil on järgmised peamised eelised:

● Kõrge temperatuuri stabiilsus: EPI-sustseptor võib püsida stabiilsena kõrge temperatuuriga keskkonnas, tagades epitaksiaalse kihi ühtlase kasvu.

● Korrosioonikindlus: SiC kate on suurepärase korrosioonikindlusega ja talub keemiliste gaaside erosiooni, pikendades aluse kasutusiga.

● Soojusjuhtivus: SiC materjali kõrge soojusjuhtivus tagab vahvli ühtlase temperatuurijaotuse kuumutamisel, parandades seeläbi epitaksiaalse kihi kvaliteeti.

● Soojuspaisumisteguri sobitamine: SiC soojuspaisumiskoefitsient on sarnane grafiidi omaga, vältides soojuspaisumisest ja kokkutõmbumisest tingitud katte lagunemise probleemi.