Kõrge puhtusastmega SiC konsooli mõla

VeTek Semiconductor on Hiinas kõrge puhtusastmega SiC konsooliaeru juhtiv tootja ja uuendaja. Kõrge puhtusastmega SiC konsoolilabasid kasutatakse tavaliselt pooljuhtdifusioonahjudes vahvlite ülekande- või laadimisplatvormidena. VeTek Semiconductor on pühendunud kõrgtehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Kõrge puhtusastmega SiC konsoolilaba on pooljuhtide töötlemise seadmetes kasutatav põhikomponent. Toode on valmistatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) materjalist. Koos suurepäraste kõrge puhtuse, kõrge termilise stabiilsuse ja korrosioonikindluse omadustega kasutatakse seda laialdaselt sellistes protsessides nagu vahvlite ülekandmine, tugi ja kõrge temperatuuriga töötlemine, pakkudes usaldusväärset garantiid protsessi täpsuse ja tootekvaliteedi tagamiseks.

Üldiselt mängib kõrge puhtusastmega SiC konsoolilaba pooljuhtide töötlemise protsessis järgmisi spetsiifilisi rolle:

Vahvliülekanne: Kõrge puhtusastmega SiC konsoolilaba kasutatakse tavaliselt vahvlite ülekandeseadmena kõrge temperatuuriga difusiooni- või oksüdatsiooniahjudes. Selle kõrge kõvadus muudab selle kulumiskindlaks ja pikaajalisel kasutamisel kergesti deformeeruvaks ning tagab, et vahvel jääb ülekandeprotsessi ajal täpselt paika. Koos kõrge temperatuuri ja korrosioonikindlusega suudab see kõrge temperatuuriga keskkondades vahvleid ahju torusse ja sealt välja ohutult teisaldada, ilma et see põhjustaks vahvlite saastumist või kahjustamist.

Vahvli tugi: SiC materjalil on madal soojuspaisumise koefitsient, mis tähendab, et selle suurus muutub temperatuuri muutumisel vähem, mis aitab säilitada protsessi täpset kontrolli. Keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) või füüsikalise aurustamise-sadestamise (PVD) protsessides kasutatakse SiC konsoolilaba vahvli toetamiseks ja kinnitamiseks, et tagada vahvli stabiilsus ja tasane püsimine sadestamisprotsessi ajal, parandades seeläbi kile ühtlust ja kvaliteeti. .

Kõrge temperatuuriga protsesside rakendamine: SiC konsooli mõla on suurepärase termilise stabiilsusega ja talub kuni 1600°C temperatuure. Seetõttu kasutatakse seda toodet laialdaselt kõrgel temperatuuril anniilimisel, oksüdatsioonil, difusioonil ja muudes protsessides.

Kõrge puhtusastmega SiC konsoolaeru põhilised füüsikalised omadused: