Horisontaalne SiC vahvlikandja

VeTeki pooljuhtHorisontaalne SiC vahvlikandja/Paadil on ülikõrge sulamistemperatuur (umbes 2700°C), mis võimaldabHorisontaalne SiC vahvlikandja/ Paat töötab stabiilselt kõrge temperatuuriga keskkondades ilma deformatsiooni või lagunemiseta. See funktsioon on eriti oluline pooljuhtide tootmisprotsessis, eriti sellistes protsessides nagu kõrgtemperatuuriline lõõmutamine või keemiline aurustamine-sadestamine (CVD).

TheHorisontaalne SiC vahvlikandja/Paat mängib vahvlikandjate kandmisel järgmisi ülesandeid:

Ränivahvli kandmine ja tugi: Horisontaalset SiC Wafer Boatit kasutatakse peamiselt räniplaatide kandmiseks ja toetamiseks pooljuhtide valmistamise ajal. See suudab mitu räniplaati kindlalt kokku panna, et tagada nende hea asend ja stabiilsus kogu töötlemisprotsessi vältel.

Ühtlane küte ja jahutus: Tänu SiC kõrgele soojusjuhtivusele suudab Wafer Boat soojust tõhusalt jaotada ühtlaselt kõikidele räniplaatidele. See aitab saavutada räniplaatide ühtlast kuumutamist või jahutamist kõrgel temperatuuril töötlemisel, tagades töötlemisprotsessi järjepidevuse ja usaldusväärsuse.

Vältida saastumist: SiC keemiline stabiilsus võimaldab sellel hästi toimida kõrge temperatuuriga ja söövitava gaasi keskkonnas, vähendades seeläbi räniplaatide kokkupuudet võimalike saasteainete või reaktiividega, tagades räniplaatide puhtuse ja kvaliteedi.

Tegelikult võib Horisontaalne SiC Wafer Boat täita ülaltoodud rolli tänu oma ainulaadsetele tooteomadustele:

Suurepärane keemiline stabiilsus: SiC materjalil on suurepärane korrosioonikindlus erinevate keemiliste ainete suhtes. Söövitavate gaaside või vedelike töötlemisel suudab SiC Wafer Boat tõhusalt vastu seista keemilisele korrosioonile ja kaitsta räniplaate saastumise või kahjustuste eest.

Kõrge soojusjuhtivus: SiC kõrge soojusjuhtivus aitab soojust kandeprotsessis ühtlaselt jaotada ja vähendada soojuse akumuleerumist. See võib täppistöötluse ajal parandada temperatuuri reguleerimise täpsust ja tagada räniplaatide ühtlase kuumutamise või jahutamise.

Madal soojuspaisumistegur: SiC materjali madal soojuspaisumistegur tähendab, et SiC Wafer Boat mõõtmete muutus on temperatuurimuutuste ajal väga väike. See aitab säilitada mõõtmete stabiilsust kõrgel temperatuuril töötlemisel ja hoiab ära räniplaatide deformatsiooni või positsiooni nihkumise, mis on põhjustatud soojuspaisumisest.

Horisontaalse SiC vahvlikandja põhilised füüsikalised omadused:

VeTeki pooljuhtide tootmispood:

Ülevaade pooljuhtkiipide epitaksitööstuse ahelast: