Teemant, potentsiaalne neljanda põlvkonna "ülim pooljuht", pälvib pooljuhtsubstraatides tähelepanu oma erakordse kõvaduse, soojusjuhtivuse ja elektriliste omaduste tõttu. Kuigi selle kõrge hind ja tootmisprobleemid piiravad selle kasutamist, on CVD eelistatud meetod. Hoolimata dopingust ja suure pin......
Loe rohkemSiC ja GaN on laia ribalaiusega pooljuhid, millel on räni ees eelised, nagu kõrgem läbilöögipinge, kiirem lülituskiirus ja suurepärane efektiivsus. SiC sobib kõrgepinge ja suure võimsusega rakenduste jaoks oma kõrgema soojusjuhtivuse tõttu paremini, GaN aga paistab silma kõrgsageduslikes rakendustes......
Loe rohkemElektronkiirega aurustamine on võrreldes takistuskuumutusega ülitõhus ja laialdaselt kasutatav katmismeetod, mis soojendab aurustusmaterjali elektronkiirega, põhjustades selle aurustumist ja kondenseerumist õhukeseks kileks.
Loe rohkemVaakumkate hõlmab kilematerjali aurustamist, vaakumtransporti ja õhukese kile kasvatamist. Vastavalt erinevatele kilematerjalide aurustamismeetoditele ja transpordiprotsessidele võib vaakumkatte jagada kahte kategooriasse: PVD ja CVD.
Loe rohkem