SiC-kattega tünni sustseptor

VeTek Semiconductor on Hiina juhtiv SiC-katte ja TaC-katte tootja, tarnija ja eksportija. Järgides toodete täiusliku kvaliteedi saavutamist, nii et paljud kliendid on meie ränidioksiidiga kaetud tünni susceptoriga rahul. Ekstreemne disain, kvaliteetsed toorained, kõrge jõudlus ja konkurentsivõimeline hind on see, mida iga klient soovib ning seda saame ka teile pakkuda. Loomulikult on oluline ka meie täiuslik müügijärgne teenindus. Kui olete huvitatud meie SiC Coated Barrel Susceptor teenustest, võite meiega kohe nõu pidada, me vastame teile õigeaegselt!

VeTek Semiconductor SiC Coated Barrel Susceptor kasutatakse peamiselt LPE Si EPI reaktorite jaoks.

LPE (Liquid Phase Epitaxy) räni epitaksia on tavaliselt kasutatav pooljuhtide epitaksiaalne kasvutehnika õhukeste ühekristallilise räni kihtide sadestamiseks ränisubstraatidele. See on vedelfaasi kasvumeetod, mis põhineb kristallide kasvu saavutamiseks lahuses toimuvatel keemilistel reaktsioonidel.

LPE räni epitaksi põhiprintsiip hõlmab substraadi sukeldamist soovitud materjali sisaldavasse lahusesse, temperatuuri ja lahuse koostise kontrollimist, võimaldades lahuses oleval materjalil kasvada ühekristallilise ränikihina substraadi pinnal. Kasvutingimuste ja lahuse koostise reguleerimisega epitaksiaalse kasvu ajal on võimalik saavutada soovitud kristallide kvaliteet, paksus ja dopingu kontsentratsioon.

LPE räni epitaksial on mitmeid omadusi ja eeliseid. Esiteks saab seda teostada suhteliselt madalatel temperatuuridel, vähendades termilist pinget ja lisandite difusiooni materjalis. Teiseks tagab LPE räni epitaksi kõrge ühtluse ja suurepärase kristallkvaliteedi, mis sobib suure jõudlusega pooljuhtseadmete valmistamiseks. Lisaks võimaldab LPE tehnoloogia kasvatada keerulisi struktuure, nagu mitmekihilised ja heterostruktuurid.

LPE räni epitaksis on ränidioksiidiga kaetud tünni sustseptor oluline epitaksiaalne komponent. Tavaliselt kasutatakse seda epitaksiaalseks kasvuks vajalike ränisubstraatide hoidmiseks ja toetamiseks, tagades samal ajal temperatuuri ja atmosfääri kontrolli. SiC kate suurendab sustseptori vastupidavust kõrgel temperatuuril ja keemilist stabiilsust, vastates epitaksiaalse kasvu protsessi nõuetele. Kasutades SiC Coated Barrel Susceptorit, saab parandada epitaksiaalse kasvu efektiivsust ja järjepidevust, tagades kvaliteetsete epitaksiaalsete kihtide kasvu.

CVD SiC katte peamised füüsikalised omadused:

VeTeki pooljuhtide tootmispood

Ülevaade pooljuhtkiipide epitaksitööstuse ahelast: