VeTek Semiconductor on teie uuenduslik partner pooljuhtide töötlemise valdkonnas. Meie ulatusliku pooljuhtkvaliteediga ränikarbiidkeraamika materjalide kombinatsioonide, komponentide tootmisvõimaluste ja rakenduste inseneriteenuste portfelli abil saame aidata teil ületada olulisi väljakutseid. Insenertehnilist ränikarbiidist keraamikat kasutatakse pooljuhtide tööstuses laialdaselt tänu nende erakordsele materjaliomadustele. VeTek Semiconductori ülipuhast ränikarbiidist keraamikat kasutatakse sageli kogu pooljuhtide valmistamise ja töötlemise tsükli jooksul.
VeTek Semiconductor pakub projekteeritud keraamilisi komponente, mis on spetsiaalselt loodud partiide difusiooni ja LPCVD nõuete jaoks, sealhulgas:
• Deflektorid ja hoidikud
• Pihustid
• Vooderdised ja protsessitorud
• Ränikarbiidist konsoollabad
• Vahvlipaadid ja postamendid
SiC konsooliga mõla SiC protsessitorud Ränikarbiidi protsessitoru SiC vertikaalne vahvelpaat SiC horisontaalne vahvelpaat SiC horizontals quare vahvel paat SiC LPCVD vahvelpaat SiC horisontaalse plaadiga paat SiC ümmargune vahvelpaat
Vähendage saastumist ja plaanivälist hooldust kõrge puhtusastmega komponentidega, mis on konstrueeritud plasmasöövitamise raskuste jaoks, sealhulgas:
Fookusrõngad
Pihustid
Kilbid
Dušipead
Aknad / kaaned
Muud kohandatud komponendid
VeTek Semiconductor pakub täiustatud materjalikomponente, mis on kohandatud kõrge temperatuuriga termilise töötlemise rakendusteks pooljuhtide tööstuses. Need rakendused hõlmavad RTP-d, Epi-protsesse, difusiooni, oksüdatsiooni ja lõõmutamist. Meie tehniline keraamika on loodud taluma termilisi šokke, tagades usaldusväärse ja ühtlase jõudluse. VeTek Semiconductori komponentidega saavad pooljuhtide tootjad saavutada tõhusa ja kvaliteetse termilise töötlemise, aidates kaasa pooljuhtide tootmise üldisele edule.
• Hajutid
• Isolaatorid
• Sustseptorid
• Muud kohandatud termokomponendid
Ümberkristalliseeritud ränikarbiidi füüsikalised omadused | |
Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
Töötemperatuur (°C) | 1600°C (hapnikuga), 1700°C (redutseeriv keskkond) |
SiC / SiC sisaldus | > 99,96% |
Si / tasuta Si sisu | < 0,1% |
Puistetiheduse | 2,60-2,70 g/cm3 |
Ilmne poorsus | < 16% |
Survetugevus | > 600 MPa |
Külm paindetugevus | 80–90 MPa (20 °C) |
Kuum paindetugevus | 90–100 MPa (1400 °C) |
Soojuspaisumine @1500°C | 4,70 10-6°C |
Soojusjuhtivus @1200°C | 23 W/m•K |
Elastsusmoodul | 240 GPa |
Soojuslöögikindlus | Äärmiselt hea |
VeTek Semiconductor pakub pooljuhtide tootmiseks suure jõudlusega SiC protsessitorusid. Meie SiC protsessitorud paistavad silma oksüdatsiooni- ja difusiooniprotsessides. Kõrgema kvaliteediga ja viimistletud torud pakuvad kõrge temperatuuri stabiilsust ja soojusjuhtivust tõhusaks pooljuhtide töötlemiseks. Pakume konkurentsivõimelist hinda ja soovime olla teie pikaajaline partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori SiC konsooli mõla on väga suure jõudlusega toode. Meie SiC konsoolilaba kasutatakse tavaliselt kuumtöötlusahjudes räniplaatide käitlemiseks ja toetamiseks, keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) ja muude pooljuhtide tootmisprotsesside töötlemisprotsesside jaoks. SiC materjali kõrge temperatuuri stabiilsus ja kõrge soojusjuhtivus tagavad pooljuhtide töötlemise protsessis kõrge efektiivsuse ja töökindluse. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne horisontaalse ahju jaoks mõeldud ränikarbiidist vahvelpaadi tootja ja tarnija Hiinas, kellel on aastatepikkune uurimis- ja arendustegevuse ning tootmise kogemus, mis suudab kvaliteeti hästi kontrollida ja pakkuda konkurentsivõimelist hinda. Võite olla kindel, et ostate meilt ränikarbiidist vahvelpaati horisontaalse ahju jaoks.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne Hiinas ränidioksiidiga kaetud ränikarbiidist vahvlite tootja ja tarnija, kellel on aastatepikkune uurimis- ja arendustegevuse ning tootmise kogemus, mis suudab kvaliteeti hästi kontrollida ja pakkuda konkurentsivõimelist hinda. Tere tulemast meie tehast külastama ja edasist koostööd arutama.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori ränikarbiidi konsooli laba on pooljuhtide tootmisprotsessi oluline komponent, mis sobib eriti hästi difusioonahjude või LPCVD ahjude jaoks kõrge temperatuuriga protsessides, nagu difusioon ja RTP. Meie ränikarbiidist konsooli mõla on hoolikalt kavandatud ja valmistatud suurepärase kõrge temperatuurikindluse ja mehaanilise tugevusega ning see suudab ohutult ja usaldusväärselt transportida vahvleid protsessitorusse karmides protsessitingimustes mitmesuguste kõrge temperatuuriga protsesside jaoks, nagu difusioon ja RTP. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier on pooljuhtide töötlemise olulised komponendid, mis on loodud õrnade räniplaatide ohutuks hoidmiseks ja transportimiseks, mängides võtmerolli kõigis tootmisetappides. VeTek Semiconductori kõrge puhtusastmega ränikarbiidist vahvlikandur on hoolikalt kavandatud ja valmistatud, et tagada suurepärane jõudlus ja töökindlus. VeTek Semiconductor on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja me loodame olla teie pikaajaline partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päring