VeTek Semiconductor on spetsialiseerunud ülipuhaste ränikarbiidkattega toodete tootmisele, need katted on mõeldud kasutamiseks puhastatud grafiidile, keraamikale ja tulekindlatele metallkomponentidele.
Meie kõrge puhtusastmega katted on peamiselt mõeldud kasutamiseks pooljuhtide ja elektroonikatööstuses. Need toimivad kaitsva kihina vahvlikandjatele, sustseptoritele ja kütteelementidele, kaitstes neid söövitavate ja reaktiivsete keskkondade eest, mis tekivad sellistes protsessides nagu MOCVD ja EPI. Need protsessid on vahvlite töötlemise ja seadmete valmistamise lahutamatud. Lisaks sobivad meie katted hästi kasutamiseks vaakumpahjudes ja prooviküttes, kus esineb kõrgvaakum-, reaktiiv- ja hapnikukeskkonda.
VeTek Semiconductoris pakume terviklikku lahendust koos meie täiustatud masinatöökoja võimalustega. See võimaldab meil toota põhikomponente kasutades grafiiti, keraamikat või tulekindlaid metalle ning kanda peale SiC või TaC keraamilisi katteid ettevõttesiseselt. Pakume ka klientide tarnitud osade katmisteenust, tagades paindlikkuse erinevate vajaduste rahuldamiseks.
Meie ränikarbiidi kattetooteid kasutatakse laialdaselt Si epitaksis, SiC epitaksis, MOCVD süsteemis, RTP / RTA protsessis, söövitusprotsessis, ICP / PSS söövitusprotsessis, erinevat tüüpi LED-i protsessides, sealhulgas sinine ja roheline LED, UV LED ja sügav UV LED jne, mis on kohandatud LPE, Aixtroni, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ja nii edasi seadmetele.
CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused | |
Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
Kristalli struktuur | FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud |
Tihedus | 3,21 g/cm³ |
Kõvadus | 2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g) |
Tera suurus | 2-10 μm |
Keemiline puhtus | 99,99995% |
Soojusvõimsus | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimatsiooni temperatuur | 2700 ℃ |
Paindetugevus | 415 MPa RT 4-punktiline |
Youngi moodul | 430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃ |
Soojusjuhtivus | 300W·m-1·K-1 |
Soojuspaisumine (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VeTek Semiconductor on EPI jaoks mõeldud ränidioksiidiga kaetud grafiiditünnide susseptori professionaalne tootja, tarnija ja eksportija. Professionaalse meeskonna ja juhtiva tehnoloogia toel pakub VeTek Semiconductor teile kõrget kvaliteeti mõistlike hindadega. tervitame teid meie tehast külastama edasiseks aruteluks.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductoril on aastatepikkune kogemus kvaliteetse SiC-kattega grafiittiigli deflektori tootmisel. Meil on oma laboratoorium materjalide uurimiseks ja arendamiseks, mis toetab teie kohandatud disainilahendusi kõrge kvaliteediga. tervitame teid meie tehast külastama, et arutada rohkem.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne tootja ja tarnija, kes on pühendunud kvaliteetse MOCVD epitaksiaalsusceptori pakkumisele 4-tollisele vahvlile. Rikkaliku tööstuskogemuse ja professionaalse meeskonnaga suudame pakkuda oma klientidele asjatundlikke ja tõhusaid lahendusi.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne tootja ja tarnija, kes on pühendunud kvaliteetse GaN epitaksiaalse grafiidi sustseptori pakkumisele G5 jaoks. oleme loonud pikaajalised ja stabiilsed partnerlussuhted paljude tuntud ettevõtetega nii kodu- kui välismaal, pälvides sellega oma klientide usalduse ja austuse.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor's Semiconductor susceptor plokk SiC kaetud on väga töökindel ja vastupidav seade. See on loodud taluma kõrgeid temperatuure ja karmi keemilist keskkonda, säilitades samal ajal stabiilse jõudluse ja pika eluea. Oma suurepäraste protsessivõimetega vähendab SiC Coated Semiconductor Susceptor Block Block asendamise ja hoolduse sagedust, parandades seeläbi tootmise efektiivsust. Ootame võimalust teiega koostööd teha.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori SiC-kattega MOCVD Susceptor on suurepärase protsessi, vastupidavuse ja töökindlusega seade. Need taluvad kõrget temperatuuri ja keemilist keskkonda, säilitavad stabiilse jõudluse ja pika eluea, vähendades seeläbi asendamise ja hoolduse sagedust ning parandades tootmise efektiivsust. Meie MOCVD epitaksiaalne sustseptor on tuntud oma suure tiheduse, suurepärase tasasuse ja suurepärase termilise kontrolli poolest, mistõttu on see eelistatud seade karmides tootmiskeskkondades. Ootan teiega koostööd.
Loe rohkemSaada päring