Kodu > Tooted > Ränikarbiidi kate

Hiina Ränikarbiidi kate Tootja, tarnija, tehas

VeTek Semiconductor on spetsialiseerunud ülipuhaste ränikarbiidkattega toodete tootmisele, need katted on mõeldud kasutamiseks puhastatud grafiidile, keraamikale ja tulekindlatele metallkomponentidele.

Meie kõrge puhtusastmega katted on peamiselt mõeldud kasutamiseks pooljuhtide ja elektroonikatööstuses. Need toimivad kaitsva kihina vahvlikandjatele, sustseptoritele ja kütteelementidele, kaitstes neid söövitavate ja reaktiivsete keskkondade eest, mis tekivad sellistes protsessides nagu MOCVD ja EPI. Need protsessid on vahvlite töötlemise ja seadmete valmistamise lahutamatud. Lisaks sobivad meie katted hästi kasutamiseks vaakumpahjudes ja prooviküttes, kus esineb kõrgvaakum-, reaktiiv- ja hapnikukeskkonda.

VeTek Semiconductoris pakume terviklikku lahendust koos meie täiustatud masinatöökoja võimalustega. See võimaldab meil toota põhikomponente kasutades grafiiti, keraamikat või tulekindlaid metalle ning kanda peale SiC või TaC keraamilisi katteid ettevõttesiseselt. Pakume ka klientide tarnitud osade katmisteenust, tagades paindlikkuse erinevate vajaduste rahuldamiseks.

Meie ränikarbiidi kattetooteid kasutatakse laialdaselt Si epitaksis, SiC epitaksis, MOCVD süsteemis, RTP / RTA protsessis, söövitusprotsessis, ICP / PSS söövitusprotsessis, erinevat tüüpi LED-i protsessides, sealhulgas sinine ja roheline LED, UV LED ja sügav UV LED jne, mis on kohandatud LPE, Aixtroni, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ja nii edasi seadmetele.


Reaktori osad, mida saame teha:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Ränikarbiidkattel on mitmeid ainulaadseid eeliseid:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTeki pooljuht ränikarbiidkatte parameeter:

CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused
Kinnisvara Tüüpiline väärtus
Kristalli struktuur FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud
Tihedus 3,21 g/cm³
Kõvadus 2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g)
Tera suurus 2-10 μm
Keemiline puhtus 99,99995%
Soojusvõimsus 640 J·kg-1·K-1
Sublimatsiooni temperatuur 2700 ℃
Paindetugevus 415 MPa RT 4-punktiline
Youngi moodul 430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃
Soojusjuhtivus 300W·m-1·K-1
Soojuspaisumine (CTE) 4,5 × 10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
SiC-kattega grafiidist tünnsusseptor EPI jaoks

SiC-kattega grafiidist tünnsusseptor EPI jaoks

VeTek Semiconductor on EPI jaoks mõeldud ränidioksiidiga kaetud grafiiditünnide susseptori professionaalne tootja, tarnija ja eksportija. Professionaalse meeskonna ja juhtiva tehnoloogia toel pakub VeTek Semiconductor teile kõrget kvaliteeti mõistlike hindadega. tervitame teid meie tehast külastama edasiseks aruteluks.

Loe rohkemSaada päring
SiC kaetud grafiittiigel deflektor

SiC kaetud grafiittiigel deflektor

VeTek Semiconductoril on aastatepikkune kogemus kvaliteetse SiC-kattega grafiittiigli deflektori tootmisel. Meil on oma laboratoorium materjalide uurimiseks ja arendamiseks, mis toetab teie kohandatud disainilahendusi kõrge kvaliteediga. tervitame teid meie tehast külastama, et arutada rohkem.

Loe rohkemSaada päring
MOCVD epitaksiaalne sustseptor 4

MOCVD epitaksiaalne sustseptor 4" vahvlile

VeTek Semiconductor on professionaalne tootja ja tarnija, kes on pühendunud kvaliteetse MOCVD epitaksiaalsusceptori pakkumisele 4-tollisele vahvlile. Rikkaliku tööstuskogemuse ja professionaalse meeskonnaga suudame pakkuda oma klientidele asjatundlikke ja tõhusaid lahendusi.

Loe rohkemSaada päring
GaN Epitaxial Graphite Suceptor G5 jaoks

GaN Epitaxial Graphite Suceptor G5 jaoks

VeTek Semiconductor on professionaalne tootja ja tarnija, kes on pühendunud kvaliteetse GaN epitaksiaalse grafiidi sustseptori pakkumisele G5 jaoks. oleme loonud pikaajalised ja stabiilsed partnerlussuhted paljude tuntud ettevõtetega nii kodu- kui välismaal, pälvides sellega oma klientide usalduse ja austuse.

Loe rohkemSaada päring
Pooljuht sustseptorplokk SiC kaetud

Pooljuht sustseptorplokk SiC kaetud

VeTek Semiconductor's Semiconductor susceptor plokk SiC kaetud on väga töökindel ja vastupidav seade. See on loodud taluma kõrgeid temperatuure ja karmi keemilist keskkonda, säilitades samal ajal stabiilse jõudluse ja pika eluea. Oma suurepäraste protsessivõimetega vähendab SiC Coated Semiconductor Susceptor Block Block asendamise ja hoolduse sagedust, parandades seeläbi tootmise efektiivsust. Ootame võimalust teiega koostööd teha.

Loe rohkemSaada päring
SiC kaetud MOCVD sustseptor

SiC kaetud MOCVD sustseptor

VeTek Semiconductori SiC-kattega MOCVD Susceptor on suurepärase protsessi, vastupidavuse ja töökindlusega seade. Need taluvad kõrget temperatuuri ja keemilist keskkonda, säilitavad stabiilse jõudluse ja pika eluea, vähendades seeläbi asendamise ja hoolduse sagedust ning parandades tootmise efektiivsust. Meie MOCVD epitaksiaalne sustseptor on tuntud oma suure tiheduse, suurepärase tasasuse ja suurepärase termilise kontrolli poolest, mistõttu on see eelistatud seade karmides tootmiskeskkondades. Ootan teiega koostööd.

Loe rohkemSaada päring
Professionaalse Ränikarbiidi kate tootja ja tarnijana Hiinas on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate kohandatud teenuseid oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks või soovite osta täiustatud ja vastupidavat Hiinas valmistatud Ränikarbiidi kate, võite meile sõnumi jätta.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept