VeTek Semiconductor on spetsialiseerunud ülipuhaste ränikarbiidkattega toodete tootmisele, need katted on mõeldud kasutamiseks puhastatud grafiidile, keraamikale ja tulekindlatele metallkomponentidele.
Meie kõrge puhtusastmega katted on peamiselt mõeldud kasutamiseks pooljuhtide ja elektroonikatööstuses. Need toimivad kaitsva kihina vahvlikandjatele, sustseptoritele ja kütteelementidele, kaitstes neid söövitavate ja reaktiivsete keskkondade eest, mis tekivad sellistes protsessides nagu MOCVD ja EPI. Need protsessid on vahvlite töötlemise ja seadmete valmistamise lahutamatud. Lisaks sobivad meie katted hästi kasutamiseks vaakumpahjudes ja prooviküttes, kus esineb kõrgvaakum-, reaktiiv- ja hapnikukeskkonda.
VeTek Semiconductoris pakume terviklikku lahendust koos meie täiustatud masinatöökoja võimalustega. See võimaldab meil toota põhikomponente kasutades grafiiti, keraamikat või tulekindlaid metalle ning kanda peale SiC või TaC keraamilisi katteid ettevõttesiseselt. Pakume ka klientide tarnitud osade katmisteenust, tagades paindlikkuse erinevate vajaduste rahuldamiseks.
Meie ränikarbiidi kattetooteid kasutatakse laialdaselt Si epitaksis, SiC epitaksis, MOCVD süsteemis, RTP / RTA protsessis, söövitusprotsessis, ICP / PSS söövitusprotsessis, erinevat tüüpi LED-i protsessides, sealhulgas sinine ja roheline LED, UV LED ja sügav UV LED jne, mis on kohandatud LPE, Aixtroni, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ja nii edasi seadmetele.
CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused | |
Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
Kristalli struktuur | FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud |
Tihedus | 3,21 g/cm³ |
Kõvadus | 2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g) |
Tera suurus | 2-10 μm |
Keemiline puhtus | 99,99995% |
Soojusvõimsus | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimatsiooni temperatuur | 2700 ℃ |
Paindetugevus | 415 MPa RT 4-punktiline |
Youngi moodul | 430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃ |
Soojusjuhtivus | 300W·m-1·K-1 |
Soojuspaisumine (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VeTek Semiconductori SiC-kattega ICP-söövituskandur on loodud kõige nõudlikumate epitakseerimisseadmete jaoks. Kvaliteetsest ülipuhast grafiitmaterjalist valmistatud meie SiC-kattega ICP söövituskanduril on väga tasane pind ja suurepärane korrosioonikindlus, mis talub käsitsemise ajal karmides tingimustes. SiC-ga kaetud kandja kõrge soojusjuhtivus tagab ühtlase soojusjaotuse, et saavutada suurepärased söövitustulemused. VeTek Semiconductor ootab teiega pikaajalise partnerluse loomist.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori PSS-söövituskandjaplaat Semiconductorile on kvaliteetne ülipuhast grafiidist kandja, mis on mõeldud vahvlite käsitsemiseks. Meie kanduritel on suurepärane jõudlus ja need toimivad hästi karmides keskkondades, kõrgetel temperatuuridel ja karmides keemilise puhastuse tingimustes. Meie tooteid kasutatakse laialdaselt paljudel Euroopa ja Ameerika turgudel ning loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on Hiina juhtiv kiire termilise lõõmutamise sustseptorite tootja ja uuendaja. Oleme aastaid spetsialiseerunud SiC kattematerjalidele. Pakume kõrge kvaliteediga, kõrge temperatuuritaluvusega ja üliõhukeste kiirlõõmutussusceptoreid. Ootame teid meie külastama. tehas Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne tootja ja tarnija, kes on pühendunud kvaliteetse ränipõhise GaN epitaksiaalse susceptori pakkumisele. Susceptor-pooljuhti kasutatakse VEECO K465i GaN MOCVD süsteemis, kõrge puhtusastmega, kõrge temperatuuritaluvusega, korrosioonikindlusega, tere tulemast meiega päringutele ja koostööle!
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on juhtiv 8-tolline poolkuu osa LPE reaktori tootja ja uuendaja Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud ränikarbiidi kattematerjalidele. Pakume LPE reaktorile 8-tollist poolkuuosa, mis on loodud spetsiaalselt LPE SiC epitaksireaktori jaoks. See poolkuu osa on optimaalse suuruse, ühilduvuse ja kõrge tootlikkusega mitmekülgne ja tõhus lahendus pooljuhtide tootmiseks. Tere tulemast külastama meie Hiina tehast.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on juhtiv SiC-kattega pannkoogi susceptor LPE PE3061S 6-tolliste vahvlite tootjaks ja uuendajaks Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud SiC-kattematerjalidele.Pakume SiC-kattega pannkoogisusseptorit, mis on loodud spetsiaalselt LPE PE3061S 6-tolliste vahvlite jaoks. . Sellel epitaksiaalsel sustseptoril on kõrge korrosioonikindlus, hea soojusjuhtivus ja hea ühtlus. Tere tulemast külastama meie Hiina tehast.
Loe rohkemSaada päring