VeTek Semiconductor on spetsialiseerunud ülipuhaste ränikarbiidkattega toodete tootmisele, need katted on mõeldud kasutamiseks puhastatud grafiidile, keraamikale ja tulekindlatele metallkomponentidele.
Meie kõrge puhtusastmega katted on peamiselt mõeldud kasutamiseks pooljuhtide ja elektroonikatööstuses. Need toimivad kaitsva kihina vahvlikandjatele, sustseptoritele ja kütteelementidele, kaitstes neid söövitavate ja reaktiivsete keskkondade eest, mis tekivad sellistes protsessides nagu MOCVD ja EPI. Need protsessid on vahvlite töötlemise ja seadmete valmistamise lahutamatud. Lisaks sobivad meie katted hästi kasutamiseks vaakumpahjudes ja prooviküttes, kus esineb kõrgvaakum-, reaktiiv- ja hapnikukeskkonda.
VeTek Semiconductoris pakume terviklikku lahendust koos meie täiustatud masinatöökoja võimalustega. See võimaldab meil toota põhikomponente kasutades grafiiti, keraamikat või tulekindlaid metalle ning kanda peale SiC või TaC keraamilisi katteid ettevõttesiseselt. Pakume ka klientide tarnitud osade katmisteenust, tagades paindlikkuse erinevate vajaduste rahuldamiseks.
Meie ränikarbiidi kattetooteid kasutatakse laialdaselt Si epitaksis, SiC epitaksis, MOCVD süsteemis, RTP / RTA protsessis, söövitusprotsessis, ICP / PSS söövitusprotsessis, erinevat tüüpi LED-i protsessides, sealhulgas sinine ja roheline LED, UV LED ja sügav UV LED jne, mis on kohandatud LPE, Aixtroni, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ja nii edasi seadmetele.
CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused | |
Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
Kristalli struktuur | FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud |
Tihedus | 3,21 g/cm³ |
Kõvadus | 2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g) |
Tera suurus | 2-10 μm |
Keemiline puhtus | 99,99995% |
Soojusvõimsus | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimatsiooni temperatuur | 2700 ℃ |
Paindetugevus | 415 MPa RT 4-punktiline |
Youngi moodul | 430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃ |
Soojusjuhtivus | 300W·m-1·K-1 |
Soojuspaisumine (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
CVD SiC-kattega vahvel Tünnihoidja on epitaksiaalse kasvuahju põhikomponent, mida kasutatakse laialdaselt MOCVD epitaksiaalsetes kasvuahjudes. VeTek Semiconductor pakub teile väga kohandatud tooteid. Pole tähtis, millised on teie vajadused CVD SiC-kattega vahvlite tünnihoidja järele, tere tulemast meiega nõu pidama.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor CVD SiC kattega silindri sustseptor on tünni tüüpi epitaksiaalahju põhikomponent. CVD SiC kattega silindri sustseptori abil paraneb oluliselt epitaksiaalse kasvu kogus ja kvaliteet. VeTek Semiconductor on professionaalne ränikarbiidiga kaetud torude tootja ja tarnija. Barrel Susceptor ja on juhtival tasemel Hiinas ja isegi Hiinas world.VeTek Semiconductor ootab teiega tihedate koostöösuhete loomist pooljuhtide tööstuses.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor CVD SiC kattega vahvel Epi susceptor on asendamatu komponent SiC epitaksi kasvuks, pakkudes suurepärast soojusjuhtimist, keemilist vastupidavust ja mõõtmete stabiilsust. Valides VeTek Semiconductori CVD SiC kattega vahvli Epi susceptori, suurendate oma MOCVD protsesside jõudlust, mille tulemuseks on kvaliteetsemad tooted ja suurem tõhusus pooljuhtide tootmistoimingutes. Tere tulemast teie täiendavatele päringutele.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor CVD SiC kattega grafiidisustseptor on pooljuhtide tööstuse üks olulisi komponente, nagu epitaksiaalne kasv ja vahvlite töötlemine. Seda kasutatakse MOCVD-s ja muudes seadmetes vahvlite ja muude ülitäpsete materjalide töötlemise ja käitlemise toetamiseks. VeTek Semiconductoril on Hiina juhtiv ränikarbiidiga kaetud grafiit- ja TaC-kattega grafiidisusceptor tootmis- ja tootmisvõimalused ning see ootab teie konsultatsiooni.
Loe rohkemSaada päringCVD SiC-kattega kütteelement mängib PVD-ahjus materjalide kuumutamisel põhirolli (aurustussadestamine). VeTek Semiconductor on juhtiv CVD SiC kaetud kütteelementide tootja Hiinas. Meil on täiustatud CVD-katmise võimalused ja saame pakkuda teile kohandatud CVD SiC-kattetooteid. VeTek Semiconductor ootab teie partneriks saamist SiC-kattega kütteelemendi alal.
Loe rohkemSaada päringKõrge puhtusastmega grafiidist pöörlev sustseptor mängib olulist rolli galliumnitriidi epitaksiaalses kasvus (MOCVD protsess). VeTek Semiconductor on juhtiv grafiidist pöörleva susceptori tootja ja tarnija Hiinas. Oleme välja töötanud palju kõrge puhtusastmega grafiittooteid, mis põhinevad kõrge puhtusastmega grafiitmaterjalidel, mis vastavad täielikult pooljuhtide tööstuse nõuetele. VeTek Semiconductor loodab saada teie partneriks pöörleva grafiidi sustseptori alal.
Loe rohkemSaada päring