VeTek Semiconductor on spetsialiseerunud ülipuhaste ränikarbiidkattega toodete tootmisele, need katted on mõeldud kasutamiseks puhastatud grafiidile, keraamikale ja tulekindlatele metallkomponentidele.
Meie kõrge puhtusastmega katted on peamiselt mõeldud kasutamiseks pooljuhtide ja elektroonikatööstuses. Need toimivad kaitsva kihina vahvlikandjatele, sustseptoritele ja kütteelementidele, kaitstes neid söövitavate ja reaktiivsete keskkondade eest, mis tekivad sellistes protsessides nagu MOCVD ja EPI. Need protsessid on vahvlite töötlemise ja seadmete valmistamise lahutamatud. Lisaks sobivad meie katted hästi kasutamiseks vaakumpahjudes ja prooviküttes, kus esineb kõrgvaakum-, reaktiiv- ja hapnikukeskkonda.
VeTek Semiconductoris pakume terviklikku lahendust koos meie täiustatud masinatöökoja võimalustega. See võimaldab meil toota põhikomponente kasutades grafiiti, keraamikat või tulekindlaid metalle ning kanda peale SiC või TaC keraamilisi katteid ettevõttesiseselt. Pakume ka klientide tarnitud osade katmisteenust, tagades paindlikkuse erinevate vajaduste rahuldamiseks.
Meie ränikarbiidi kattetooteid kasutatakse laialdaselt Si epitaksis, SiC epitaksis, MOCVD süsteemis, RTP / RTA protsessis, söövitusprotsessis, ICP / PSS söövitusprotsessis, erinevat tüüpi LED-i protsessides, sealhulgas sinine ja roheline LED, UV LED ja sügav UV LED jne, mis on kohandatud LPE, Aixtroni, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ja nii edasi seadmetele.
CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused | |
Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
Kristalli struktuur | FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud |
Tihedus | 3,21 g/cm³ |
Kõvadus | 2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g) |
Tera suurus | 2-10 μm |
Keemiline puhtus | 99,99995% |
Soojusvõimsus | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimatsiooni temperatuur | 2700 ℃ |
Paindetugevus | 415 MPa RT 4-punktiline |
Youngi moodul | 430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃ |
Soojusjuhtivus | 300W·m-1·K-1 |
Soojuspaisumine (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VeTek Semiconductor on Hiinas juhtiv MOCVD SiC kattesusseptorite tootja ja tarnija, kes keskendub aastaid ränikarbiidi kattetoodete uurimis- ja arendustegevusele ning tootmisele. Meie MOCVD SiC-kattega sustseptoritel on suurepärane kõrge temperatuuritaluvus, hea soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumise koefitsient, mis mängivad võtmerolli räni või ränikarbiidi (SiC) vahvlite toetamisel ja kuumutamisel ning ühtlasel gaasisadesel. Tere tulemast edasi konsulteerima.
Loe rohkemSaada päringProfessionaalse pooljuhtide tootja ja tarnijana suudab VeTek Semiconductor pakkuda mitmesuguseid SiC epitaksiaalsete kasvusüsteemide jaoks vajalikke grafiidikomponente. Need SiC-kattega poolkuu grafiidiosad on mõeldud epitaksiaalreaktori gaasi sisselaskeava jaoks ja mängivad olulist rolli pooljuhtide tootmisprotsessi optimeerimisel. VeTek Semiconductor püüab alati pakkuda klientidele parima kvaliteediga tooteid kõige konkurentsivõimelisemate hindadega. VeTek Semiconductor loodab saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor Hot Zone grafiitküttekeha on loodud toime tulema äärmuslike tingimustega kõrge temperatuuriga ahjudes ning säilitama suurepärase jõudluse ja stabiilsuse keerulistes protsessides, nagu keemiline aurustamine-sadestamine (CVD), epitaksiaalne kasv ja kõrge temperatuuriga lõõmutamine. VeTekSemi keskendub alati kvaliteetsete Hot Zone grafiitküttekehade tootmisele ja pakkumisele, et tagada klientidele parim kuluefektiivsus. Kutsume teid siiralt meiega ühendust võtma.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on juhtiv VEECO MOCVD kütteseadmete tootja ja tarnija Hiinas. MOCVD kütteseadmel on suurepärane keemiline puhtus, termiline stabiilsus ja korrosioonikindlus. See on asendamatu toode metallide orgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) protsessis. Tere tulemast teie täiendavatele päringutele.
Loe rohkemSaada päringVEECO MOCVD Susceptor toodete juhtiva tootja ja tarnijana Hiinas esindab VeTek Semiconductori MOCVD Susceptor innovatsiooni ja inseneri tipptaseme tippu, mis on spetsiaalselt kohandatud vastama kaasaegsete pooljuhtide tootmisprotsesside keerukatele nõuetele. Tere tulemast teie täiendavatele päringutele.
Loe rohkemSaada päringTäiustatud SiC tihendusdetailide tootja ja tehas Hiinas. VeTek Semiconducto SiC tihendusosa on suure jõudlusega tihenduskomponent, mida kasutatakse laialdaselt pooljuhtide töötlemisel ja muudes äärmuslikult kõrge temperatuuri ja kõrgsurve protsessides. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päring