VEECO MOCVD küttekeha

VeTeksemi VEECO MOCVD kütteseade on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiitmaterjalist, mille lisandite sisaldus on rangelt kontrollitud alla 5 ppm, ja kaetud ülikõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC), mille puhtus on üle 99,99995%.keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsess. See materjalide kombinatsioon annab kütteseadmele rea võtmeomadusi, mis tagavad selle suurepärase jõudlusemetalli orgaaniline keemiline aurustamine-sadestamine (MOCVD)protsessi.

Üks VEECO MOCVD küttekeha silmapaistvaid omadusi on selle erakordne keemiline puhtus. Kõrge puhtusastmega grafiidist südamik vähendab oluliselt saasteainete võimalikku sattumist kõrge temperatuuriga protsessi, tagades ülipuhta kile sadestamise protsessi. TheCVD SiC katepakub kütteseadmele täiendavat kaitset, moodustades tugeva barjääri, et vältida keemilisi reaktsioone, mis võivad kile kvaliteeti kahjustada. See võrratu puhtus on suure jõudlusega ja töökindlate pooljuhtseadmete tootmiseks hädavajalik.

Samal ajal on kütteseadmel äärmiselt kõrge termiline stabiilsus ja tõhusus. SiC-l on kõrge sulamistemperatuur ja suurepärane soojusjuhtivus, mis võimaldab kütteseadmel soojust tõhusalt hallata ja juhtida. See tagab ühtlase kuumutamise kogu aluspinna ulatuses, mis omakorda aitab saavutada ühtlast kile sadestumist ja vähendada termiliste gradientide põhjustatud defekte. Selline termiline efektiivsus on eriti oluline täppistootmise jaoks.

VEECO MOCVD kütteseade paistab silma ka elektrilise jõudluse poolest. Selle kõrge puhtusastmega grafiidist südamikuga on suurepärane elektrijuhtivus, mis võimaldab kütteseadmel toime tulla kõrgete elektriliste koormusnõuetega. See stabiilne elektriline jõudlus võimaldab kütteseadmel säilitada täpse temperatuuri reguleerimise ja sadestumiskiiruse suure koormuse tingimustes, mis on kriitilise tähtsusega ühtsete protsessitingimuste tagamiseks ja pooljuhtide tootmise tõhususe parandamiseks.

Küttekeha pinnakujundus on hoolikalt optimeeritud, et sellel oleks kõrge substraadi kiirgusvõime, mis parandab oluliselt kiirgussoojuse ülekande efektiivsust. Võime ühtlaselt kuumeneda on kile ühtlase paksuse ja omaduste tagamisel võtmetegur. Kõrge emissioonivõimega pinnakujundus parandab ka küttekeha üldist soojustõhusust, vähendades seeläbi energiatarbimist ja töökulusid.

Vastupidavuse osas on VeTeksemi VEECO MOCVD küttekehal suurepärane korrosioonikindlus, oksüdatsioonikindlus ja mehaaniline tugevus. CVD SiC kate tagab tugeva barjääri MOCVD protsessides levinud söövitavatele gaasidele ja kemikaalidele, pikendades seeläbi seadmete eluiga ning vähendades hooldusvajadusi ja asenduskulusid. Selle oksüdatsioonikindlus tagab, et kütteseade püsib kõrgetel temperatuuridel stabiilsena, ilma selle jõudluse halvenemiseta, tagades pikaajalise stabiilsuse.

Lisaks võimaldab VeTeksemi MOCVD küttekeha kõrge mehaaniline tugevus taluda termilise tsükli ja substraadi käsitsemise käigus tekkivaid füüsilisi pingeid. Selle vastupidavus vähendab mehaaniliste rikete ohtu ja tagab seadmete usaldusväärse töö karmides protsessitingimustes.

VEECO MOCVD küttekehatoodete edasijõudnud tootja ja tarnijana pakub VeTeksemi ka erinevaid kvaliteetseid küttekehatooteid nagu näiteksTaC Coating Heater, ränikarbiidist keraamilise kattega grafiitküttekeha, ränikarbiidist keraamilise kattega kütteseadejne. VeTek Semiconductor on pühendunud täiustatud ja kohandatavate tehnoloogia- ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Loodame siiralt, et saame olla teie pikaajaline partner Hiinas.