> Tooted > Ränikarbiidi kate > Ränikarbiidi epitaksia

Uued tooted

Hiina Ränikarbiidi epitaksia Tootja, tarnija, tehas

Kvaliteetse ränikarbiidi epitaksi valmistamine sõltub arenenud tehnoloogiast ning seadmetest ja tarvikutest. Praegu on kõige laialdasemalt kasutatav ränikarbiidi epitaksia kasvumeetod keemiline aurustamine-sadestamine (CVD). Selle eeliseks on epitaksiaalse kile paksuse ja dopingu kontsentratsiooni täpne juhtimine, vähem defekte, mõõdukas kasvukiirus, automaatne protsessijuhtimine jne ning see on usaldusväärne tehnoloogia, mida on edukalt kasutatud kaubanduslikult.

Vastavalt suhe sisselaskeõhu voolu suuna ja substraadi pinna vahel, reaktsioonikambri saab jagada horisontaalse struktuuriga reaktoriks ja vertikaalse struktuuriga reaktoriks.

SIC epitaksiaalahju kvaliteedil on kolm peamist näitajat, millest esimene on epitaksiaalne kasvujõudlus, sealhulgas paksuse ühtlus, dopingu ühtlus, defektide määr ja kasvukiirus; Teine on seadmete enda temperatuurinäitajad, sealhulgas kütte-/jahutuskiirus, maksimaalne temperatuur, temperatuuri ühtlus; Lõpuks seadmete enda kulutasuvus, sealhulgas ühe seadme hind ja võimsus.

Kolme tüüpi ränikarbiidi epitaksiaalse kasvuahju ja südamiku tarvikute erinevused

Kuuma seina horisontaalne CVD (tüüpiline mudel PE1O6 LPE ettevõttele), sooja seina planetaarne CVD (tüüpiline mudel Aixtron G5WWC/G10) ja kvaasikuum seina CVD (esindaja EPIREVOS6 ettevõttest Nuflare) on peamised epitaksiaalseadmete tehnilised lahendused, mis on realiseeritud. kommertsrakendustes selles etapis. Kolmel tehnilisel seadmel on ka oma omadused ja neid saab valida vastavalt nõudlusele. Nende struktuur on näidatud järgmiselt:

Vastavad põhikomponendid on järgmised:

(a) Kuuma seina horisontaalset tüüpi südamikuosa- Halfmoon Parts koosneb

Allavoolu isolatsioon

Peamine isolatsioon ülemine

Ülemine poolkuu

Ülesvoolu isolatsioon

Üleminek 2

Üleminek 1

Väline õhuotsik

Kitsenev snorkel

Välimine argooni gaasiotsik

Argooni gaasiotsik

Vahvli tugiplaat

Tsentreerimistihvt

Keskvalvur

Allavoolu vasak kaitsekate

Allavoolu parempoolne kaitsekate

Vastuvoolu vasak kaitsekate

Ülesvoolu parem kaitsekate

Külgsein

Grafiidist rõngas

Kaitsev vilt

Toetav vilt

Kontaktide blokk

Gaasi väljalaskeballoon

(b) Sooja seina planetaartüüp

SiC-kattega planetaarketas ja TaC-kattega planetaarketas

c) Kvaasitermiline seinatüüp

Nuflare (Jaapan): see ettevõte pakub kahekambrilisi vertikaalseid ahjusid, mis aitavad suurendada toodangut. Seadmel on kiire pöörlemiskiirus kuni 1000 pööret minutis, mis on epitaksiaalse ühtluse jaoks väga kasulik. Lisaks erineb selle õhuvoolu suund teistest seadmetest, olles vertikaalselt allapoole, minimeerides seega osakeste teket ja vähendades osakeste tilkade kukkumise tõenäosust vahvlitele. Pakume nendele seadmetele SiC-kattega grafiitkomponente.

SiC epitaksiaalseadmete komponentide tarnijana on VeTek Semiconductor pühendunud pakkuma klientidele kvaliteetseid kattekomponente, et toetada SiC epitaksia edukat rakendamist.

View as

LPE Halfmoon SiC EPI reaktor

VeTek Semiconductor on professionaalne LPE Halfmoon SiC EPI Reactori tootetootja, uuendaja ja Hiina liider. LPE Halfmoon SiC EPI Reactor on seade, mis on spetsiaalselt loodud kvaliteetsete ränikarbiidi (SiC) epitaksiaalsete kihtide tootmiseks, mida kasutatakse peamiselt pooljuhtide tööstuses. VeTek Semiconductor on pühendunud pooljuhtide tööstusele juhtivate tehnoloogia- ja tootelahenduste pakkumisele ning tervitab teie edasisi päringuid.

Loe rohkem Saada päring

CVD SiC kaetud lagi

Professionaalse CVD SiC-ga kaetud lagede tootja ja tarnijana Hiinas on VeTek Semiconductori CVD SiC-kattega lael suurepärased omadused, nagu kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus, kõrge kõvadus ja madal soojuspaisumistegur, mistõttu on see ideaalne materjalivalik pooljuhtide tootmisel. Ootame teiega edasist koostööd.

Loe rohkem Saada päring

CVD SiC grafiidi silinder

Vetek Semiconductori CVD SiC grafiidisilinder on pooljuhtseadmetes kesksel kohal, toimides reaktorites kaitsekilbina, et kaitsta sisemisi komponente kõrgel temperatuuril ja rõhul. See kaitseb tõhusalt kemikaalide ja äärmise kuumuse eest, säilitades seadme terviklikkuse. Erakordse kulumis- ja korrosioonikindlusega tagab see pikaealisuse ja stabiilsuse keerulistes keskkondades. Nende katete kasutamine suurendab pooljuhtseadmete jõudlust, pikendab eluiga ning vähendab hooldusnõudeid ja kahjustuste riske. Tere tulemast meiega päringusse.

Loe rohkem Saada päring

CVD SiC katteotsik

Vetek Semiconductori CVD SiC kattedüüsid on olulised komponendid, mida kasutatakse LPE SiC epitaksiprotsessis ränikarbiidmaterjalide sadestamiseks pooljuhtide valmistamise ajal. Need düüsid on tavaliselt valmistatud kõrge temperatuuriga ja keemiliselt stabiilsest ränikarbiidmaterjalist, et tagada stabiilsus karmides töötlemiskeskkondades. Mõeldud ühtlaseks sadestumiseks, mängivad nad võtmerolli pooljuhtide rakendustes kasvatatavate epitaksiaalsete kihtide kvaliteedi ja ühtluse kontrollimisel. Ootame teiega pikaajalist koostööd.

Loe rohkem Saada päring

CVD SiC kattekaitse

Vetek Semiconductor pakub CVD SiC kattekaitset, mida kasutatakse LPE SiC epitaksina. Mõiste "LPE" viitab tavaliselt madalrõhulisele keemilisele aurustamise-sadestamisele (LPCVD) madalsurveepitaksikale (LPE). Pooljuhtide tootmises on LPE oluline üksikkristallide õhukeste kilede kasvatamise protsessitehnoloogia, mida kasutatakse sageli räni epitaksiaalkihtide või muude pooljuhtide epitaksiaalsete kihtide kasvatamiseks. Lisaküsimuste korral võtke meiega kindlasti ühendust.

Loe rohkem Saada päring

SiC kaetud pjedestaal

Vetek Semiconductor on professionaalne CVD SiC katte, TaC katte valmistamisel grafiidile ja ränikarbiidmaterjalidele. Pakume OEM- ja ODM-tooteid, nagu ränikarbiidiga kaetud alus, vahvlikandur, vahvlipadrun, vahvlikandur, planetaarketas ja nii edasi. 1000-klassi puhasruumi ja puhastusseadmega saame pakkuda teile tooteid, mille lisandisisaldus on alla 5 ppm. Ootame kuulmist. sinult varsti.

Loe rohkem Saada päring

<1 2 3 >

Professionaalse Ränikarbiidi epitaksia tootja ja tarnijana Hiinas on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate kohandatud teenuseid oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks või soovite osta täiustatud ja vastupidavat Hiinas valmistatud Ränikarbiidi epitaksia, võite meile sõnumi jätta.