TaC-kattega grafiidist vahvlikandja

VeTek Semiconductor on Hiina juhtiv TaC-ga kaetud grafiitvahvlite tootja ja uuendaja. Oleme aastaid spetsialiseerunud SiC- ja TaC-kattele. Meie TaC-ga kaetud grafiitvahvlikandjal on kõrgem temperatuuri- ja kulumiskindel. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Võite olla kindel, et ostate VeTek Semiconductorilt kohandatud TaC-kattega grafiitplaadi kanduri. Ootame teiega koostööd, kui soovite rohkem teada, võite meiega kohe nõu pidada, vastame teile õigel ajal!

VeTek Semiconductor TaC kaetud grafiitvahvlikandja suhtleb vahetult epitaksireaktoris olevate vahvlitega, suurendades tõhusust ja jõudlust. Ränikarbiidi või tantaalkarbiidi katmise võimalusega pakub VeTek Semiconductor TaC kaetud grafiitvahvelkandja pikemat eluiga, kuni 2-3 korda pikemat tantaalkarbiidiga. Ühildub erinevate masinamudelitega, sealhulgas LPE SiC epitaksiahjud, JSG, NASO epitaksiaahjud.

VeTek Semiconductor TaC-ga kaetud grafiidikandja tagab täpse reaktsioonistöhhiomeetria, hoiab ära lisandite migratsiooni ja säilitab temperatuuri stabiilsuse üle 2000 °C. Sellel on märkimisväärne vastupidavus H2, NH3, SiH4 ja Si suhtes, mis kaitseb karmi keemilise keskkonna eest. See talub termilisi šokke ja võimaldab kiireid töötsükleid ilma kattekihi lagunemiseta.

VeTek Semiconductor TaC kate tagab ülikõrge puhtuse, eemaldab lisandid ja tagab konformse katte, mis vastab rangetele mõõtmete tolerantidele. VeTek Semiconductori täiustatud grafiiditöötlusvõimalustega oleme varustatud teie kohandamisvajaduste rahuldamiseks. Ükskõik, kas vajate katmisteenuseid või terviklikke lahendusi, meie asjatundlike inseneride meeskond on valmis välja töötama täiusliku lahenduse teie konkreetsete rakenduste jaoks. Usaldage meid, et pakume kvaliteetseid tooteid, mis on kohandatud teie vajadustele ja ootustele.

PVT meetod SiC Crystal Growth

TaC-ga kaetud grafiitvahvli kandja tooteparameeter

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6,3 10-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1×10-5 Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)