TaC-ga kaetud vahvli sustseptor

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor on grafiidist alus, mis on kaetud tantaalkarbiidiga ränikarbiidi epitaksiaalseks kasvuks, et parandada vahvli kvaliteeti ja jõudlust. VeTek on valitud tänu oma täiustatud katmistehnoloogiale ja vastupidavatele lahendustele, mis tagavad suurepärased SiC epitaksia tulemused ja pikendatud sustseptori eluiga. Tere tulemast teie edasiste päringute vastu.

Saada päring

Tootekirjeldus

VeTek Semiconductor TaC-ga kaetud vahvelsustseptor on võtmekomponent, mida kasutatakseMetallorgaaniline keemiline aurustamine-sadestamine (MOCVD)jaoks mõeldud reaktoridpooljuhtide epitaksiaalsed (epi) protsessid. See spetsiaalne ümmargune alus on valmistatud kvaliteetsest grafiidist ja kaetud tantaalkarbiidi (TaC) kihiga, mis on tuntud oma erakordsete termiliste ja keemiliste omaduste poolest.

TaC katte esmane ülesanne on parandada vahvli susseptori jõudlust ja vastupidavust pooljuhtide tootmise karmides tingimustes. Tantaalkarbiid on kuulus oma kõvaduse, kõrge sulamistemperatuuri ja silmapaistva kulumiskindluse poolest, mistõttu on see ideaalne kaitsekiht. See kate kaitseb grafiidist alust söövitavate keemiliste reaktsioonide ja mehaaniliste pingete eest, mis tekivadMOCVD reaktorid, pikendades seadmete eluiga ja parandades töökindlust.

Pooljuhtmaterjalide epitaksiaalse kasvu ajal mängib TaC-ga kaetud vahvli sustseptor üliolulist rolli, tagades kile täpse sadestamise. Selle vastupidavus kõrgetele temperatuuridele ja karmidele keemilistele keskkondadele on pooljuhtseadmete täpseks tootmiseks kriitilise tähtsusega, võimaldades seadmetel stabiilselt töötada nõudlikes protsessitingimustes.

Kombinatsioon agrafiidist südamikjaTaC katetagab ühtlase soojusjaotuse üle sustseptori, mis on hädavajalik MOCVD protsessi käigus kasvatatud pooljuhtkihtide korratavuse ja kvaliteedi parandamiseks. See täiustatud materjalidisain ei taga mitte ainult vastupidavust, vaid vastab ka kaasaegse pooljuhtide tootmise rangetele nõudmistele suure jõudlusega elektroonikakomponentidele.

VeTek Semiconductor on juhtiv TaC-kattega vahvlsustseptorite tarnija ja tootja, kes on pühendunud kvaliteetsete tehniliste lahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Loodame saada teie pikaajaliseks usaldusväärseks partneriks Hiinas, pakkudes usaldusväärseid ja kohandatud tooteid.

VeTek Semiconductor TaC kaetud vahvli susseptori poed:

TaC coated wafer susceptor shops