TaC katte sustseptor

VeTek Semiconductor esitleb TaC Coating Susceptorit. Oma erakordse TaC kattega pakub see sustseptor palju eeliseid, mis eristavad seda tavapärastest lahendustest. VeTek Semiconductori TaC Coating Susceptor integreerudes sujuvalt olemasolevatesse süsteemidesse, tagab ühilduvuse ja tõhusa töö. Selle usaldusväärne jõudlus ja kvaliteetne TaC-kate tagavad pidevalt erakordseid tulemusi ränidioksiidi epitakseerimisprotsessides. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

VeTek Semiconductori TaC-ga kaetud sustseptor ja rõngas töötavad koos LPE ränikarbiidi epitaksiaalses kasvureaktoris:

Vastupidavus kõrgele temperatuurile: TaC katte sustseptoril on suurepärane kõrge temperatuurikindlus, mis talub LPE reaktoris äärmuslikke temperatuure kuni 1500 ° C. See tagab, et seadmed ja komponendid ei deformeeru ega kahjustu pikaajalise kasutamise ajal.

Keemiline stabiilsus: TaC-katte sustseptor toimib erakordselt hästi söövitava ränikarbiidi kasvukeskkonnas, kaitstes reaktori komponente tõhusalt söövitava keemilise rünnaku eest, pikendades seeläbi nende kasutusiga.

Termiline stabiilsus: TaC katte sustseptoril on hea termiline stabiilsus, säilitades pinna morfoloogia ja kareduse, et tagada reaktori temperatuurivälja ühtlus, mis on kasulik ränikarbiidi epitaksiaalsete kihtide kvaliteetseks kasvuks.

Saastumisvastane: sile TaC-ga kaetud pind ja suurepärane TPD (Temperature Programmed Desorption) jõudlus võivad minimeerida osakeste ja lisandite kogunemist ja adsorptsiooni reaktoris, hoides ära epitaksiaalsete kihtide saastumise.

Kokkuvõtlikult võib öelda, et TaC-ga kaetud sustseptor ja rõngas mängivad LPE ränikarbiidi epitaksiaalkasvu reaktoris kriitilist kaitserolli, tagades seadmete pikaajalise stabiilse töö ja epitaksiaalsete kihtide kvaliteetse kasvu.

TaC Coating Susceptori tooteparameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6,3 10-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1×10-5 Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)