VeTek Semiconductori toode, tantaalkarbiidi (TaC) kattetooted ränikarbiidi ühe kristalli kasvuprotsessi jaoks, tegeleb ränikarbiidi (SiC) kristallide kasvuliidesega seotud väljakutsetega, eriti kristalli servas esinevate ulatuslike defektidega. TaC katte pealekandmisega soovime parandada kristallide kasvu kvaliteeti ja suurendada kristalli keskpunkti efektiivset pindala, mis on ülioluline kiire ja paksu kasvu saavutamiseks.
TaC kate on põhiline tehnoloogiline lahendus kvaliteetse SiC monokristalli kasvuprotsessi kasvatamiseks. Oleme edukalt välja töötanud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) TaC kattetehnoloogia, mis on jõudnud rahvusvaheliselt kõrgele tasemele. TaC-l on erakordsed omadused, sealhulgas kõrge sulamistemperatuur kuni 3880 °C, suurepärane mehaaniline tugevus, kõvadus ja vastupidavus termilisele löögile. Samuti on sellel hea keemiline inertsus ja termiline stabiilsus kõrgete temperatuuride ja selliste ainetega nagu ammoniaak, vesinik ja räni sisaldav aur.
VeTek Semiconductori tantaalkarbiidi (TaC) kate pakub lahendust SiC Single Crystal Growth Process'i servadega seotud probleemide lahendamiseks, parandades kasvuprotsessi kvaliteeti ja tõhusust. Meie täiustatud TaC-kattetehnoloogiaga soovime toetada kolmanda põlvkonna pooljuhtide tööstuse arengut ja vähendada sõltuvust imporditud võtmematerjalidest.
TaC-kattega tiigel, TaC-kattega seemnehoidik, TaC-katte juhtrõngas on PVT-meetodil olulised osad SiC- ja AIN-monokristallahjus.
- Kõrge temperatuuritaluvus
-Kõrge puhtusastmega, ei saasta SiC toorainet ja SiC monokristalle.
- Vastupidav Al aurule ja N2 korrosioonile
-Kõrge eutektiline temperatuur (koos AlN-ga), et lühendada kristallide ettevalmistamise tsüklit.
-Taaskasutatav (kuni 200h), see parandab selliste monokristallide valmistamise jätkusuutlikkust ja efektiivsust.
TaC katte füüsikalised omadused | |
Tihedus | 14,3 (g/cm³) |
Eriemissioon | 0.3 |
Soojuspaisumise koefitsient | 6,3 10-6/K |
Kõvadus (HK) | 2000 HK |
Vastupidavus | 1×10-5 Ohm*cm |
Termiline stabiilsus | <2500 ℃ |
Grafiidi suurus muutub | -10-20 um |
Katte paksus | ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
VeTek Semiconductor on Hiina juhtiv TaC-ga kaetud grafiitvahvlite tootja ja uuendaja. Oleme aastaid spetsialiseerunud SiC- ja TaC-kattele. Meie TaC-ga kaetud grafiitvahvlikandjal on kõrgem temperatuuri- ja kulumiskindel. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päring