Oksüdatsiooni- ja difusioonahjusid kasutatakse erinevates valdkondades, nagu pooljuhtseadmed, diskreetseadmed, optoelektroonilised seadmed, jõuelektroonilised seadmed, päikesepatareid ja laiaulatuslik integraallülituste tootmine. Neid kasutatakse protsessides, sealhulgas vahvlite difusioon, oksüdeerimine, lõõmutamine, legeerimine ja paagutamine.
VeTek Semiconductor on juhtiv tootja, kes on spetsialiseerunud kõrge puhtusastmega grafiidi-, ränikarbiidi- ja kvartskomponentide tootmisele oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes. Oleme pühendunud kvaliteetsete ahjukomponentide pakkumisele pooljuht- ja fotogalvaanilisele tööstusele ning oleme pinnakattetehnoloogia esirinnas, nagu CVD-SiC, CVD-TaC, pürosüsinik jne.
Kõrge temperatuuritaluvus (kuni 1600 ℃)
Suurepärane soojusjuhtivus ja termiline stabiilsus
Hea keemilise korrosioonikindlus
Madal soojuspaisumistegur
Kõrge tugevus ja kõvadus
Pikk kasutusiga
Oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes nõuavad kõrge temperatuuri ja söövitavate gaaside olemasolu tõttu paljud komponendid kõrge temperatuuriga ja korrosioonikindlate materjalide kasutamist, mille hulgas on ränikarbiid (SiC) tavaliselt kasutatav valik. Järgmised on levinud ränikarbiidi komponendid, mida leidub oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes:
Vahvlipaat
Ränikarbiidist vahvlipaat on ränivahvlite vedamiseks kasutatav konteiner, mis talub kõrgeid temperatuure ega reageeri räniplaatidega.
Ahju toru
Ahju toru on difusioonahju põhikomponent, mida kasutatakse räniplaatide mahutamiseks ja reaktsioonikeskkonna juhtimiseks. Ränikarbiidist ahjutorudel on suurepärane kõrge temperatuuri- ja korrosioonikindlus.
Deflektorplaat
Kasutatakse õhuvoolu ja temperatuurijaotuse reguleerimiseks ahju sees
Termopaari kaitsetoru
Kasutatakse temperatuuri mõõtmise termopaaride kaitsmiseks otsese kokkupuute eest söövitavate gaasidega.
Konsoolne mõla
Ränikarbiidist konsoollabad on vastupidavad kõrgele temperatuurile ja korrosioonile ning neid kasutatakse ränipaatide või ränivahvleid kandvate kvartspaate transportimiseks difusioonahju torudesse.
Gaasipihusti
Kasutatakse reaktsioonigaasi ahju sisestamiseks, see peab olema vastupidav kõrgele temperatuurile ja korrosioonile.
Paadikandja
Ränikarbiidist vahvlikandurit kasutatakse räniplaatide kinnitamiseks ja toetamiseks, millel on sellised eelised nagu kõrge tugevus, korrosioonikindlus ja hea konstruktsiooni stabiilsus.
Ahju uks
Ahju ukse siseküljel võib kasutada ka ränikarbiidist katteid või komponente.
Kütteelement
Ränikarbiidist kütteelemendid sobivad kõrgete temperatuuride, suure võimsusega ja võivad kiiresti tõsta temperatuuri üle 1000 ℃.
SiC vooder
Kasutatakse ahju torude siseseina kaitsmiseks, see võib aidata vähendada soojusenergia kadu ja taluda karmi keskkonda, nagu kõrge temperatuur ja kõrge rõhk.
VeTek Semiconductor on Hiinas kõrge puhtusastmega SiC konsooliaeru juhtiv tootja ja uuendaja. Kõrge puhtusastmega SiC konsoolilabasid kasutatakse tavaliselt pooljuhtdifusioonahjudes vahvlite ülekande- või laadimisplatvormidena. VeTek Semiconductor on pühendunud kõrgtehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringProfessionaalse vertikaalse sambaga vahvlipaadi ja pjedestaali tootja ja tarnija Hiinas on Vetek Semiconductori vertikaalse samba vahvlipaat ja pjedestaal valmistatud kõrge puhtusastmega kvarts- või ränisüsinikkeraamilistest (SiC) materjalidest, millel on suurepärane kõrge temperatuuritaluvus, keemiline stabiilsus ja mehaaniline tugevus. ja on pooljuhtide tootmisprotsessi asendamatu põhikomponent. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päringVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat on täiustatud seade pooljuhtide töötlemiseks. Contiguous Wafer Boat tootestruktuur on hoolikalt kavandatud, et tagada täppisvahvlite tõhus töötlemine ja tootmine. Vetek Semiconductor on pühendunud suurepäraste tehnoloogia- ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on Hiinas TaC-kattega juhtrõnga, horisontaalse SiC-vahvlikandja ja SiC-kattega sustseptorite professionaalne tootja ja tarnija. Oleme pühendunud täiusliku tehnilise toe ja parimate tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Tere tulemast meiega ühendust võtma.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori SiC Wafer Boat on väga suure jõudlusega toode. Meie SiC Wafer Boat'i kasutatakse tavaliselt pooljuhtide oksüdatsiooni difusioonahjudes, et tagada temperatuuri ühtlane jaotumine vahvlil ja parandada ränivahvli töötlemise kvaliteeti. SiC materjalide kõrge temperatuuristabiilsus ja kõrge soojusjuhtivus tagavad tõhusa ja usaldusväärse pooljuhtide töötlemise. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame olla teie pikaajaline partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor pakub pooljuhtide tootmiseks suure jõudlusega SiC protsessitorusid. Meie SiC protsessitorud paistavad silma oksüdatsiooni- ja difusiooniprotsessides. Kõrgema kvaliteediga ja viimistletud torud pakuvad kõrge temperatuuri stabiilsust ja soojusjuhtivust tõhusaks pooljuhtide töötlemiseks. Pakume konkurentsivõimelist hinda ja soovime olla teie pikaajaline partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päring