Oksüdatsiooni- ja difusioonahjusid kasutatakse erinevates valdkondades, nagu pooljuhtseadmed, diskreetseadmed, optoelektroonilised seadmed, jõuelektroonilised seadmed, päikesepatareid ja laiaulatuslik integraallülituste tootmine. Neid kasutatakse protsessides, sealhulgas vahvlite difusioon, oksüdeerimine, lõõmutamine, legeerimine ja paagutamine.
VeTek Semiconductor on juhtiv tootja, kes on spetsialiseerunud kõrge puhtusastmega grafiidi-, ränikarbiidi- ja kvartskomponentide tootmisele oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes. Oleme pühendunud kvaliteetsete ahjukomponentide pakkumisele pooljuht- ja fotogalvaanilisele tööstusele ning oleme pinnakattetehnoloogia esirinnas, nagu CVD-SiC, CVD-TaC, pürosüsinik jne.
Kõrge temperatuuritaluvus (kuni 1600 ℃)
Suurepärane soojusjuhtivus ja termiline stabiilsus
Hea keemilise korrosioonikindlus
Madal soojuspaisumistegur
Kõrge tugevus ja kõvadus
Pikk kasutusiga
Oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes nõuavad kõrge temperatuuri ja söövitavate gaaside olemasolu tõttu paljud komponendid kõrge temperatuuriga ja korrosioonikindlate materjalide kasutamist, mille hulgas on ränikarbiid (SiC) tavaliselt kasutatav valik. Järgmised on levinud ränikarbiidi komponendid, mida leidub oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes:
Vahvlipaat
Ränikarbiidist vahvlipaat on ränivahvlite vedamiseks kasutatav konteiner, mis talub kõrgeid temperatuure ega reageeri räniplaatidega.
Ahju toru
Ahju toru on difusioonahju põhikomponent, mida kasutatakse räniplaatide mahutamiseks ja reaktsioonikeskkonna juhtimiseks. Ränikarbiidist ahjutorudel on suurepärane kõrge temperatuuri- ja korrosioonikindlus.
Deflektorplaat
Kasutatakse õhuvoolu ja temperatuurijaotuse reguleerimiseks ahju sees
Termopaari kaitsetoru
Kasutatakse temperatuuri mõõtmise termopaaride kaitsmiseks otsese kokkupuute eest söövitavate gaasidega.
Konsoolne mõla
Ränikarbiidist konsoollabad on vastupidavad kõrgele temperatuurile ja korrosioonile ning neid kasutatakse ränipaatide või ränivahvleid kandvate kvartspaate transportimiseks difusioonahju torudesse.
Gaasipihusti
Kasutatakse reaktsioonigaasi ahju sisestamiseks, see peab olema vastupidav kõrgele temperatuurile ja korrosioonile.
Paadikandja
Ränikarbiidist vahvlikandurit kasutatakse räniplaatide kinnitamiseks ja toetamiseks, millel on sellised eelised nagu kõrge tugevus, korrosioonikindlus ja hea konstruktsiooni stabiilsus.
Ahju uks
Ahju ukse siseküljel võib kasutada ka ränikarbiidist katteid või komponente.
Kütteelement
Ränikarbiidist kütteelemendid sobivad kõrgete temperatuuride, suure võimsusega ja võivad kiiresti tõsta temperatuuri üle 1000 ℃.
SiC vooder
Kasutatakse ahju torude siseseina kaitsmiseks, see võib aidata vähendada soojusenergia kadu ja taluda karmi keskkonda, nagu kõrge temperatuur ja kõrge rõhk.
VeTek Semiconductori SiC konsooli mõla on väga suure jõudlusega toode. Meie SiC konsoolilaba kasutatakse tavaliselt kuumtöötlusahjudes räniplaatide käitlemiseks ja toetamiseks, keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) ja muude pooljuhtide tootmisprotsesside töötlemisprotsesside jaoks. SiC materjali kõrge temperatuuri stabiilsus ja kõrge soojusjuhtivus tagavad pooljuhtide töötlemise protsessis kõrge efektiivsuse ja töökindluse. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne horisontaalse ahju jaoks mõeldud ränikarbiidist vahvelpaadi tootja ja tarnija Hiinas, kellel on aastatepikkune uurimis- ja arendustegevuse ning tootmise kogemus, mis suudab kvaliteeti hästi kontrollida ja pakkuda konkurentsivõimelist hinda. Võite olla kindel, et ostate meilt ränikarbiidist vahvelpaati horisontaalse ahju jaoks.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne Hiinas ränidioksiidiga kaetud ränikarbiidist vahvlite tootja ja tarnija, kellel on aastatepikkune uurimis- ja arendustegevuse ning tootmise kogemus, mis suudab kvaliteeti hästi kontrollida ja pakkuda konkurentsivõimelist hinda. Tere tulemast meie tehast külastama ja edasist koostööd arutama.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori ränikarbiidi konsooli laba on pooljuhtide tootmisprotsessi oluline komponent, mis sobib eriti hästi difusioonahjude või LPCVD ahjude jaoks kõrge temperatuuriga protsessides, nagu difusioon ja RTP. Meie ränikarbiidist konsooli mõla on hoolikalt kavandatud ja valmistatud suurepärase kõrge temperatuurikindluse ja mehaanilise tugevusega ning see suudab ohutult ja usaldusväärselt transportida vahvleid protsessitorusse karmides protsessitingimustes mitmesuguste kõrge temperatuuriga protsesside jaoks, nagu difusioon ja RTP. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier on pooljuhtide töötlemise olulised komponendid, mis on loodud õrnade räniplaatide ohutuks hoidmiseks ja transportimiseks, mängides võtmerolli kõigis tootmisetappides. VeTek Semiconductori kõrge puhtusastmega ränikarbiidist vahvlikandur on hoolikalt kavandatud ja valmistatud, et tagada suurepärane jõudlus ja töökindlus. VeTek Semiconductor on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja me loodame olla teie pikaajaline partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori kõrge puhtusastmega ränikarbiidist vahvelpaat on valmistatud äärmiselt puhtast ränikarbiidmaterjalist, millel on suurepärane termiline stabiilsus, mehaaniline tugevus ja keemiline vastupidavus. Kõrge puhtusastmega ränikarbiidist vahvelpaati kasutatakse kuumatsooni rakendustes pooljuhtide tootmisel, eriti kõrge temperatuuriga keskkondades, ning sellel on oluline roll vahvlite kaitsmisel, materjalide transportimisel ja stabiilsete protsesside säilitamisel. VeTek Semiconductor jätkab kõvasti tööd, et uuendada ja parandada kõrge puhtusastmega ränikarbiidist vahvlipaadi jõudlust, et vastata pooljuhtide tootmise muutuvatele vajadustele. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päring