Hiina Ränikarbiidi kate Tootja, tarnija, tehas

VeTek Semiconductor on spetsialiseerunud ülipuhaste ränikarbiidkattega toodete tootmisele, need katted on mõeldud kasutamiseks puhastatud grafiidile, keraamikale ja tulekindlatele metallkomponentidele.

Meie kõrge puhtusastmega katted on peamiselt mõeldud kasutamiseks pooljuhtide ja elektroonikatööstuses. Need toimivad kaitsva kihina vahvlikandjatele, sustseptoritele ja kütteelementidele, kaitstes neid söövitavate ja reaktiivsete keskkondade eest, mis tekivad sellistes protsessides nagu MOCVD ja EPI. Need protsessid on vahvlite töötlemise ja seadmete valmistamise lahutamatud. Lisaks sobivad meie katted hästi kasutamiseks vaakumpahjudes ja prooviküttes, kus esineb kõrgvaakum-, reaktiiv- ja hapnikukeskkonda.

VeTek Semiconductoris pakume terviklikku lahendust koos meie täiustatud masinatöökoja võimalustega. See võimaldab meil toota põhikomponente kasutades grafiiti, keraamikat või tulekindlaid metalle ning kanda peale SiC või TaC keraamilisi katteid ettevõttesiseselt. Pakume ka klientide tarnitud osade katmisteenust, tagades paindlikkuse erinevate vajaduste rahuldamiseks.

Meie ränikarbiidi kattetooteid kasutatakse laialdaselt Si epitaksis, SiC epitaksis, MOCVD süsteemis, RTP / RTA protsessis, söövitusprotsessis, ICP / PSS söövitusprotsessis, erinevat tüüpi LED-i protsessides, sealhulgas sinine ja roheline LED, UV LED ja sügav UV LED jne, mis on kohandatud LPE, Aixtroni, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ja nii edasi seadmetele.

Reaktori osad, mida saame teha:

Ränikarbiidkattel on mitmeid ainulaadseid eeliseid:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTeki pooljuht ränikarbiidi katte parameeter

CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused
Kinnisvara	Tüüpiline väärtus
Kristalli struktuur	FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud
SiC kate Tihedus	3,21 g/cm³
SiC katte kõvadus	2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g)
Tera suurus	2-10 μm
Keemiline puhtus	99,99995%
Soojusvõimsus	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatsiooni temperatuur	2700 ℃
Paindetugevus	415 MPa RT 4-punktiline
Youngi moodul	430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃
Soojusjuhtivus	300W·m^-1·K^-1
Soojuspaisumine (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILMIKRISTALLI STRUKTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Ränikarbiidiga kaetud Epi sustseptor SiC kattega vahvlikandja SiC-kattega satelliitkate MOCVD jaoks CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC kattega kütteelement Aixtron Satellite vahvlikandja SiC Coating Epi vastuvõtja SiC kattega poolkuu grafiitdetailid

View as

Tahke SiC gaasiga dušipea

Solid SiC Gas Shower Head mängib suurt rolli gaasi ühtlustamisel CVD protsessis, tagades seeläbi aluspinna ühtlase kuumutamise. VeTek Semiconductor on aastaid olnud tahkete ränikarbiidi seadmete valdkonnas sügavalt seotud ja suudab pakkuda klientidele kohandatud tahke ränikarbiidi gaasi dušiotsikuid. Pole tähtis, millised on teie nõuded, ootame teie päringut.

Loe rohkem Saada päring

Keemilise aurustamise-sadestamise protsess Tahke ränidioksiidi servarõngas

VeTek Semiconductor on alati pühendunud täiustatud pooljuhtmaterjalide uurimisele ja arendusele ning tootmisele. Tänaseks on VeTek Semiconductor teinud suuri edusamme tahkete SiC servarõngaste toodete vallas ja suudab pakkuda klientidele väga kohandatud tahke SiC servarõngaid. Tahked SiC servarõngad tagavad söövituse parema ühtluse ja vahvli täpse positsioneerimise, kui neid kasutatakse koos elektrostaatilise padruniga, tagades ühtlase ja usaldusväärse söövitustulemuse. Ootan huviga teie päringut ja saame üksteise pikaajalisteks partneriteks.

Loe rohkem Saada päring

Tahke SiC söövitatud teravustamisrõngas

Tahke ränikarbiidi söövitamise fookusrõngas on vahvli söövitamise protsessi üks põhikomponente, mis mängib rolli vahvli fikseerimisel, plasma fokuseerimisel ja vahvli söövitamise ühtluse parandamisel. Hiina juhtiva ränikarbiidi fookusrõngaste tootjana on VeTek Semiconductoril arenenud tehnoloogia ja arenenud protsess ning ta toodab tahket ränikarbiidi söövitusrõngast, mis vastab täielikult lõpptarbijate vajadustele vastavalt kliendi nõudmistele. Ootame teie päringut ja hakkame üksteise pikaajalisteks partneriteks.

Loe rohkem Saada päring

<...14 15 16 17 18 >

Professionaalse Ränikarbiidi kate tootja ja tarnijana Hiinas on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate kohandatud teenuseid oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks või soovite osta täiustatud ja vastupidavat Hiinas valmistatud Ränikarbiidi kate, võite meile sõnumi jätta.