TaC-kattega kolme kroonlehega rõngas

VeTek Semiconductor on juhtiv TaC-kattega kolme kroonlehega rõnga tootja ja uuendaja Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud TaC- ja SiC-kattele. Meie toodetel on korrosioonikindlus ja kõrge tugevus. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

VeTek Semiconductor on professionaalne Hiina TaC-kattega kolme kroonlehega rõnga tootja ja tarnija. TaC-kattega kolme kroonlehega rõngast kasutatakse Aixtron G10-sadestussüsteemis liitpooljuhtide, G10-GaN 150/200 mm suure läbilaskevõimega GaN-võimsuse ja raadiosagedusliku epitaksia jaoks. rakendusi.

VeTek Semiconductor TaC kate on uue põlvkonna kõrgel temperatuuril vastupidav materjal, millel on parem kõrge temperatuuri stabiilsus kui SiC, korrosioonikindla kattena, oksüdatsioonikindla kattena, kulumiskindla kattena, mida saab kasutada keskkonnas, mille temperatuur on üle 2000 ℃, mida kasutatakse laialdaselt kosmosetööstuse ülikõrge temperatuuriga kuuma otsa osad, kolmanda põlvkonna pooljuhtide monokristallide kasvu ja muud valdkonnad.

Toote omadused:

1. Kõrge puhtusastmega, lisandite sisaldus < 5ppm

2. Kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus, kõrge tihedus, kõrge tihedus

3. See on kõrgel temperatuuril keemiliselt inertne ammoniaagi, vesiniku, silaani ja räni suhtes ning sellel on hea termiline stabiilsus.

4. Soojusšoki vastupidavus, võib kiirendada töötsüklit

5. Tugev grafiidi adhesioon tagab pika kasutusea ja kattekihi kihistumise puudumise.

6. Ranged mõõtmete tolerantsid.

Peamised rakendused:

1. Epitaksiaalne kasv

2. Üksikkristallide kasv

3. Kõrge temperatuuriga korrosiooni ümbersuunamine

4. Kõrge temperatuuri ja oksüdatsioonikindel otsik

5. Gaasiturbiini labad

TaC-kattega kolme kroonlehega rõnga tooteparameeter

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6,3 10-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1×10-5 Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)