VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.
Peamised tooted onTantaalkarbiidiga kaetud defektirõngas, TaC-ga kaetud ümbersuunamisrõngas, TaC-ga kaetud poolkuu osad, tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas (Aixtron G10), TaC-kattega tiigel; TaC-ga kaetud rõngad; TaC-ga kaetud poorne grafiit; Tantaalkarbiidist kattega grafiit sustseptor; TaC-kattega juhtrõngas; TaC tantaalkarbiidiga kaetud plaat; TaC-ga kaetud vahvli sustseptor; TaC katterõngas; TaC Coating Graphite Coating; TaC-ga kaetud tükkjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.
TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga. Eelis on näidatud alloleval pildil:
Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaxy process.Samuti on laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.
●Temperatuuri stabiilsus
●Ultra kõrge puhtusastmega
●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes
●Vastupidavus termilisele materjalile
●Tugev nake grafiidiga
●Konformne kattekiht
● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)
● Induktiivne küttesusseptor
● Resistiivne kütteelement
● Kuumakaitse
TaC katte füüsikalised omadused | |
Tihedus | 14,3 (g/cm³) |
Eriemissioon | 0.3 |
Soojuspaisumise koefitsient | 6.3 10-6/K |
Kõvadus (HK) | 2000 HK |
Vastupidavus | 1 × 10-5Ohm*cm |
Termiline stabiilsus | <2500 ℃ |
Grafiidi suurus muutub | -10-20 um |
Katte paksus | ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
Element | Aatomiprotsent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskmine | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor on CVD TaC Coating Crucible toodete professionaalne tootja ja juht Hiinas. CVD TaC Coating Crucible põhineb tantaalsüsi (TaC) kattel. Tantaal-süsinikkate on tiigli pinnal ühtlaselt kaetud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga, et suurendada selle kuumakindlust ja korrosioonikindlust. See on materjalist tööriist, mida kasutatakse spetsiaalselt kõrge temperatuuriga äärmuslikes keskkondades. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päringProfessionaalse CVD TaC Coating Wafer Carrieri tootetootjana ja Hiinas asuva tehasena on VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier vahvli kandmise tööriist, mis on spetsiaalselt loodud pooljuhtide tootmise kõrge temperatuuri ja söövitava keskkonna jaoks. ja CVD TaC Coating Wafer Carrieril on kõrge mehaaniline tugevus, suurepärane korrosioonikindlus ja termiline stabiilsus, mis annab vajaliku garantii kvaliteetsete pooljuhtseadmete tootmiseks. Teie täiendavad päringud on teretulnud.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on Hiinas juhtiv TaC Coating Heater tootja ja uuendaja. Sellel tootel on äärmiselt kõrge sulamistemperatuur (umbes 3880 °C). TaC Coating Heateri kõrge sulamistemperatuur võimaldab sellel töötada äärmiselt kõrgetel temperatuuridel, eriti galliumnitriidi (GaN) epitaksiaalsete kihtide kasvatamisel metalli orgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) protsessis. VeTek Semiconductor on pühendunud kõrgtehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringProfessionaalse TaC-kattega padrunite tootja ja tarnijana Hiinas on VeTek Semiconductori TaC-katte padrun spetsiaalselt loodud pooljuhtahjude jaoks. Oma kõrge temperatuuritaluvuse, keemilise inertsuse ja suurepärase jõudlusega pakub Vetek Semiconductori uuenduslik tehnoloogia pooljuhtide tootmistööstusele usaldusväärse lahenduse, et tagada kõrge kvaliteediga tootmisstandardid. Usume, et meie tooted võivad tuua teieni kõrgtehnoloogiat ja kvaliteetseid tootelahendusi.
Loe rohkemSaada päringProfessionaalse TaC kattetoru tootja ja tarnijana Hiinas on VeTek Semiconductori TaC kattetoru ränikarbiidi monokristallide eduka kasvu võtmekomponent. Oma kõrge temperatuuritaluvuse, keemilise inertsuse ja suurepärase jõudlusega tagab see kvaliteetsete kristallide valmistamise järjepidevate tulemustega. Usaldage meie uuenduslikke lahendusi, et täiustada oma PVT-meetodiga SiC kristallide kasvuprotsessi ja saavutada suurepäraseid tulemusi. Tere tulemast meiega päringusse.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on CVD TAC Coatingi juhtiv tootja, uuendaja ja juht Hiinas. Oleme aastaid keskendunud erinevatele CVD TAC Coating toodetele, nagu CVD TaC kattekate, CVD TaC katterõngas, CVD TaC kattekandja jne. VeTek Semiconductor toetab kohandatud tooteteenuseid ja rahuldavaid tootehindu ning ootab teie edasist hinda konsultatsioon.
Loe rohkemSaada päring