VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.
Peamised tooted onTantaalkarbiidiga kaetud defektirõngas, TaC-ga kaetud ümbersuunamisrõngas, TaC-ga kaetud poolkuu osad, tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas (Aixtron G10), TaC-kattega tiigel; TaC-ga kaetud rõngad; TaC-ga kaetud poorne grafiit; Tantaalkarbiidist kattega grafiit sustseptor; TaC-kattega juhtrõngas; TaC tantaalkarbiidiga kaetud plaat; TaC-ga kaetud vahvli sustseptor; TaC katterõngas; TaC Coating Graphite Coating; TaC-ga kaetud tükkjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.
TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga. Eelis on näidatud alloleval pildil:
Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaxy process.Samuti on laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.
●Temperatuuri stabiilsus
●Ultra kõrge puhtusastmega
●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes
●Vastupidavus termilisele materjalile
●Tugev nake grafiidiga
●Konformne kattekiht
● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)
● Induktiivne küttesusseptor
● Resistiivne kütteelement
● Kuumakaitse
TaC katte füüsikalised omadused | |
Tihedus | 14,3 (g/cm³) |
Eriemissioon | 0.3 |
Soojuspaisumise koefitsient | 6.3 10-6/K |
Kõvadus (HK) | 2000 HK |
Vastupidavus | 1 × 10-5Ohm*cm |
Termiline stabiilsus | <2500 ℃ |
Grafiidi suurus muutub | -10-20 um |
Katte paksus | ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
Element | Aatomiprotsent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskmine | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor on juhtiv TaC-kattega juhtrõnga tootja ja uuendaja Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud keraamilisele katmisele. TaC-kattega juhtrõngaid kasutatakse peamiselt õhuvoolu juhtimiseks ja kontrollimiseks, suurendades monokristallide kasvu. Tere tulemast lisateabe saamiseks meie käest küsima.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on juhtiv tantaalkarbiidiga kaetud planetaarse pöörlemisketta tootja ja uuendaja Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud keraamilisele katmisele. Meie toodetel on kõrge puhtusaste ja kõrge temperatuuritaluvus. Ootame, et saame teie pikaajaliseks partneriks Hiina.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on Hiina juhtiv TaC-ga kaetud grafiitvahvlite tootja ja uuendaja. Oleme aastaid spetsialiseerunud SiC- ja TaC-kattele. Meie TaC-ga kaetud grafiitvahvlikandjal on kõrgem temperatuuri- ja kulumiskindel. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päring