VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.
Peamised tooted onTantaalkarbiidiga kaetud defektirõngas, TaC-ga kaetud ümbersuunamisrõngas, TaC-ga kaetud poolkuu osad, tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas (Aixtron G10), TaC-kattega tiigel; TaC-ga kaetud rõngad; TaC-ga kaetud poorne grafiit; Tantaalkarbiidist kattega grafiit sustseptor; TaC-kattega juhtrõngas; TaC tantaalkarbiidiga kaetud plaat; TaC-ga kaetud vahvli sustseptor; TaC katterõngas; TaC Coating Graphite Coating; TaC-ga kaetud tükkjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.
TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga. Eelis on näidatud alloleval pildil:
Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaxy process.Samuti on laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.
●Temperatuuri stabiilsus
●Ultra kõrge puhtusastmega
●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes
●Vastupidavus termilisele materjalile
●Tugev nake grafiidiga
●Konformne kattekiht
● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)
● Induktiivne küttesusseptor
● Resistiivne kütteelement
● Kuumakaitse
TaC katte füüsikalised omadused | |
Tihedus | 14,3 (g/cm³) |
Eriemissioon | 0.3 |
Soojuspaisumise koefitsient | 6.3 10-6/K |
Kõvadus (HK) | 2000 HK |
Vastupidavus | 1 × 10-5Ohm*cm |
Termiline stabiilsus | <2500 ℃ |
Grafiidi suurus muutub | -10-20 um |
Katte paksus | ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
Element | Aatomiprotsent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskmine | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
TaC-kattega poorne grafiit on täiustatud pooljuhtide töötlemise materjal, mida pakub VeTek Semiconductor. TaC-kattega poorne grafiit ühendab poorse grafiidi ja tantaalkarbiidi (TaC) katte eelised hea soojusjuhtivuse ja gaasi läbilaskvusega. VeTek Semiconductor on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja me loodame olla teie pikaajaline partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on Hiinas juhtiv tantaalkarbiidkatte katte tootja ja uuendaja. Keskendume kõrge puhtusastmega ja kõrge temperatuurikindla tantaalkarbiidi toodete pakkumisele. Meie tantaalkarbiidiga kaetud kate on suurepärase jõudluse ja töökindlusega ning suudab tõhusalt kaitsta materjale ülikõrge temperatuuriga ja söövitavas keskkonnas. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductori TaC-kattega deflektorirõngas on kõrgelt spetsialiseerunud komponent, mis on loodud SiC kristallide kasvuprotsesside jaoks. TaC kate tagab suurepärase kõrge temperatuurikindluse ja keemilise inertsuse, et tulla toime kõrgete temperatuuride ja söövitava keskkonnaga kristallide kasvuprotsessi ajal. See tagab komponendi stabiilse jõudluse ja pika eluea, vähendades vahetuste sagedust ja seisakuid. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame olla teie pikaajaline partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on juhtiv tantaalkarbiidiga kaetud toru kristallide kasvu jaoks Hiina tootja ja uuendaja. Oleme aastaid spetsialiseerunud keraamilisele katmisele. Meie tooted on kõrge puhtusega ja kõrge temperatuuritaluvusega. Ootame, et saame teie pikaajaliseks partneriks. Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on suuremahuline TaC-kattega rõngas ränidioksiidi epitaksiaalreaktorite tootjale ja uuendajale Hiinas. Oleme spetsialiseerunud TaC-kattele juba aastaid. Meie toodetel on kõrge puhtusaste, kõrge stabiilsus, suurepärane korrosioonikindlus ja kõrge sideme tugevus. saada teie pikaajaline partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on suuremahuline tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu osa LPE tootjale ja uuendajale Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud TaC-kattele. Meie tooted taluvad üle 2000 kraadi Celsiuse järgi temperatuuri, pikendades kulumaterjalide eluiga. Ootame huviga. saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päring