> Tooted > Tantaalkarbiidi kate

Uued tooted

Hiina Tantaalkarbiidi kate Tootja, tarnija, tehas

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.

Peamised tooted onTantaalkarbiidiga kaetud defektirõngas, TaC-ga kaetud ümbersuunamisrõngas, TaC-ga kaetud poolkuu osad, tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas (Aixtron G10), TaC-kattega tiigel; TaC-ga kaetud rõngad; TaC-ga kaetud poorne grafiit; Tantaalkarbiidist kattega grafiit sustseptor; TaC-kattega juhtrõngas; TaC tantaalkarbiidiga kaetud plaat; TaC-ga kaetud vahvli sustseptor; TaC katterõngas; TaC Coating Graphite Coating; TaC-ga kaetud tükkjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.

TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga. Eelis on näidatud alloleval pildil:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaxy process.Samuti on laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.

Põhiomadused:

●Temperatuuri stabiilsus

●Ultra kõrge puhtusastmega

●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

●Vastupidavus termilisele materjalile

●Tugev nake grafiidiga

●Konformne kattekiht

● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)

Rakendused:

●Vahvlikandja

● Induktiivne küttesusseptor

● Resistiivne kütteelement

●Satelliidi ketas

●Dušipea

●Juhtrõngas

●LED Epi vastuvõtja

●Sissepritse otsik

●Maskeeriv rõngas

● Kuumakaitse

Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6.3 10^-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1 × 10^-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)

TaC katte EDX andmed：

EDX data of TaC coating

TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element	Aatomiprotsent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskmine
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-katte padrun TaC Coating Planetary Disk TaC-ga kaetud plaat TaC katte pöörlemisplaat TaC katte vastuvõtja CVD TaC kate kate CVD TaC katterõngas TaC katteplaat

View as

TaC katte pöörlemisplaat

VeTek Semiconductori TaC katte pöörlemisplaadil on silmapaistev TaC kate. Erakordse TaC kattega TaC Coating Rotation Plate plaatidel on märkimisväärne vastupidavus kõrgele temperatuurile ja keemiline inertsus, mis eristab seda traditsioonilistest lahendustest. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimelise hinnaga. hinnad ja loodan olla teie pikaajaline partner Hiinas.

Loe rohkem Saada päring

TaC katteplaat

VeTek Semiconductori TaC katteplaat on tähelepanuväärne toode, millel on erakordsed omadused ja eelised. Täpselt disainitud ja täiuslikult konstrueeritud TaC katteplaat on spetsiaalselt kohandatud mitmesuguste rakenduste jaoks ränikarbiidi (SiC) monokristallide kasvatamise protsessides. TaC katteplaadi täpsed mõõtmed ja tugev konstruktsioon muudavad selle hõlpsaks integreerimise olemasolevatesse süsteemidesse, tagades sujuva ühilduvuse. ja tõhus toimimine. Selle usaldusväärne jõudlus ja kvaliteetne kate aitavad kaasa järjekindlatele ja ühtsetele tulemustele ränikarbiidi kristallide kasvatamise rakendustes. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.

Loe rohkem Saada päring

CVD TaC kate

VeTek Semiconductori CVD TaC kattekate on kõrgelt spetsialiseerunud komponent, mis on loodud spetsiaalselt nõudlike rakenduste jaoks. Oma täiustatud funktsioonide ja erakordse jõudlusega pakub meie CVD TaC kattekate mitmeid olulisi eeliseid. Meie CVD TaC kattekate pakub eduks vajalikku kaitset ja jõudlust. Ootame teiega võimaliku koostöö uurimist!

Loe rohkem Saada päring

TaC-kattega planetaarne sustseptor

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor on erakordne toode Aixtroni epitaksiseadmete jaoks. Tugev TaC kate tagab suurepärase vastupidavuse kõrgele temperatuurile ja keemilise inertsuse. See ainulaadne kombinatsioon tagab usaldusväärse jõudluse ja pika kasutusea isegi nõudlikes keskkondades. VeTek on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele ja konkurentsivõimelise hinnaga pikaajalise partnerina Hiina turule.

Loe rohkem Saada päring

TaC kattega pjedestaali tugiplaat

VeTek Semiconductori TaC kattega pjedestaali tugiplaat on ülitäpne toode, mis on loodud vastama pooljuhtide epitaksiprotsesside spetsiifilistele nõuetele. Oma TaC-katte, kõrge temperatuurikindluse ja keemilise inertsusega annab meie toode teile võimaluse toota kõrge kvaliteediga kvaliteetseid EPI kihte. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame olla teie pikaajaline partner Hiinas.

Loe rohkem Saada päring

TaC-katte padrun

VeTek Semiconductori TaC-katte padrunil on kvaliteetne TaC-kate, mis on tuntud oma silmapaistva kõrge temperatuurikindluse ja keemilise inertsuse poolest, eriti ränikarbiidi (SiC) epitaksi (EPI) protsessides. Oma erakordsete omaduste ja suurepärase jõudlusega pakub meie TaC kattepadrun mitmeid olulisi eeliseid. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.

Loe rohkem Saada päring

<...3 4 5 6 7...9 >

Professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana Hiinas on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate kohandatud teenuseid oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks või soovite osta täiustatud ja vastupidavat Hiinas valmistatud Tantaalkarbiidi kate, võite meile sõnumi jätta.