VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.
Peamised tooted onTantaalkarbiidiga kaetud defektirõngas, TaC-ga kaetud ümbersuunamisrõngas, TaC-ga kaetud poolkuu osad, tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas (Aixtron G10), TaC-kattega tiigel; TaC-ga kaetud rõngad; TaC-ga kaetud poorne grafiit; Tantaalkarbiidist kattega grafiit sustseptor; TaC-kattega juhtrõngas; TaC tantaalkarbiidiga kaetud plaat; TaC-ga kaetud vahvli sustseptor; TaC katterõngas; TaC Coating Graphite Coating; TaC-ga kaetud tükkjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.
TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga. Eelis on näidatud alloleval pildil:
Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaxy process.Samuti on laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.
●Temperatuuri stabiilsus
●Ultra kõrge puhtusastmega
●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes
●Vastupidavus termilisele materjalile
●Tugev nake grafiidiga
●Konformne kattekiht
● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)
● Induktiivne küttesusseptor
● Resistiivne kütteelement
● Kuumakaitse
TaC katte füüsikalised omadused | |
Tihedus | 14,3 (g/cm³) |
Eriemissioon | 0.3 |
Soojuspaisumise koefitsient | 6.3 10-6/K |
Kõvadus (HK) | 2000 HK |
Vastupidavus | 1 × 10-5Ohm*cm |
Termiline stabiilsus | <2500 ℃ |
Grafiidi suurus muutub | -10-20 um |
Katte paksus | ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
Element | Aatomiprotsent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskmine | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor on juhtiv TaC-kattega kolme kroonlehega rõnga tootja ja uuendaja Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud TaC- ja SiC-kattele. Meie toodetel on korrosioonikindlus ja kõrge tugevus. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on juhtiv tantaalkarbiidiga kaetud padrunite tootja ja uuendaja Hiinas. Oleme aastaid spetsialiseerunud TaC-kattele. Meie toodetel on kõrge puhtusaste ja kõrge temperatuuritaluvus kuni 2000 ℃. Ootame, et saame teie pikaajaliseks kasutamiseks. partner Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on Hiina juhtiv tantaalkarbiidiga kaetud katte tootja ja uuendaja. Oleme aastaid spetsialiseerunud TaC- ja SiC-kattele. Meie toodetel on korrosioonikindlus ja kõrge tugevus. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on Hiinas kohandatud Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon juhtiv tarnija, kes on aastaid spetsialiseerunud täiustatud materjalidele. Meie Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon on spetsiaalselt loodud SiC epitaksiaalseadmete jaoks, tagades suurepärase jõudluse. Valmistatud ülipuhtast imporditud grafiidist, pakub see töökindlust ja vastupidavust. Külastage meie tehast Hiinas, et tutvuda meie kvaliteetse Ultra Pure Graphite Lower Halfmooniga.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on Hiinas kaetud kohandatud Upper Halfmoon Part SiC juhtiv tarnija, kes on spetsialiseerunud täiustatud materjalidele juba üle 20 aasta. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC kaetud on spetsiaalselt loodud SiC epitaksiaalseadmete jaoks, toimides reaktsioonikambris olulise komponendina. Valmistatud ülipuhtast pooljuhtkvaliteediga grafiidist, tagab suurepärase jõudluse. Kutsume teid külastama meie tehast Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on juhtiv kohandatud ränikarbiidist epitaksivahvlite tarnija Hiinas. Oleme rohkem kui 20 aastat spetsialiseerunud täiustatud materjalidele. Pakume ränikarbiidist epitaksivahvli kandjat ränikarbiidi substraadi kandmiseks, ränikarbiidi epitaksikihi kasvatamiseks ränikarbiidi epitaksiaalreaktoris. See ränikarbiidi epitaksivahvli kandja on poolkuu osa oluline SiC-ga kaetud osa, vastupidavus kõrgele temperatuurile, oksüdatsioonikindlus ja kulumiskindlus. Ootame teid külastama meie Hiina tehast.
Loe rohkemSaada päring