VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.
Peamised tooted onTantaalkarbiidiga kaetud defektirõngas, TaC-ga kaetud ümbersuunamisrõngas, TaC-ga kaetud poolkuu osad, tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas (Aixtron G10), TaC-kattega tiigel; TaC-ga kaetud rõngad; TaC-ga kaetud poorne grafiit; Tantaalkarbiidist kattega grafiit sustseptor; TaC-kattega juhtrõngas; TaC tantaalkarbiidiga kaetud plaat; TaC-ga kaetud vahvli sustseptor; TaC katterõngas; TaC Coating Graphite Coating; TaC-ga kaetud tükkjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.
TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga. Eelis on näidatud alloleval pildil:
Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaxy process.Samuti on laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.
●Temperatuuri stabiilsus
●Ultra kõrge puhtusastmega
●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes
●Vastupidavus termilisele materjalile
●Tugev nake grafiidiga
●Konformne kattekiht
● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)
● Induktiivne küttesusseptor
● Resistiivne kütteelement
● Kuumakaitse
TaC katte füüsikalised omadused | |
Tihedus | 14,3 (g/cm³) |
Eriemissioon | 0.3 |
Soojuspaisumise koefitsient | 6.3 10-6/K |
Kõvadus (HK) | 2000 HK |
Vastupidavus | 1 × 10-5Ohm*cm |
Termiline stabiilsus | <2500 ℃ |
Grafiidi suurus muutub | -10-20 um |
Katte paksus | ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
Element | Aatomiprotsent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskmine | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Professionaalse innovaatori ja tantaalkarbiidiga kaetud rõngaste toodete juhina Hiinas mängib VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidiga kaetud rõngas ränikarbiidi kristallide kasvatamisel asendamatut rolli oma suurepärase kõrge temperatuurikindluse, kulumiskindluse ja suurepärase soojusjuhtivusega. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne poorse tantaalkarbiidi toodete tootja ja juht Hiinas. Poorset tantaalkarbiidi toodetakse tavaliselt keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) meetodil, tagades selle pooride suuruse ja jaotumise täpse kontrolli ning see on materjalitööriist, mis on mõeldud kõrge temperatuuriga äärmuslikele keskkondadele. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päringHiinas arenenud tantaalkarbiidrõnga toodete tootjana ja tootjana on VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ringil äärmiselt kõrge kõvadus, kulumiskindlus, kõrge temperatuuritaluvus ja keemiline stabiilsus ning seda kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmise valdkonnas. Eriti CVD-s, PVD-s, ioonide implanteerimisprotsessis, söövitusprotsessis ning vahvlite töötlemisel ja transportimisel on see asendamatu toode pooljuhtide töötlemiseks ja tootmiseks. Ootan teie edasist konsultatsiooni.
Loe rohkemSaada päringProfessionaalse tantaalkarbiidkatte tugitoodete tootja ja Hiinas asuva tehasena kasutatakse VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support tavaliselt pooljuhtseadmete konstruktsioonikomponentide või tugikomponentide pinnakatmiseks, eriti pooljuhtide tootmisprotsessides, näiteks peamiste seadmete komponentide pinnakaitseks. CVD ja PVD. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päringVeTek Semiconductor on professionaalne tantaalkarbiidi juhtrõnga toodete tootja ja juht Hiinas. Meie tantaalkarbiidi (TaC) juhtrõngas on tantaalkarbiidist valmistatud suure jõudlusega rõngakomponent, mida kasutatakse tavaliselt pooljuhtide töötlemise seadmetes, eriti kõrge temperatuuriga ja väga korrodeerivates keskkondades, nagu CVD, PVD, söövitus ja difusioon. VeTek Semiconductor on pühendunud kõrgtehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele ning tervitab teie edasisi päringuid.
Loe rohkemSaada päringHiinas TaC Coating Rotation Susceptor toodete professionaalse tootja, uuendaja ja juhina. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor paigaldatakse tavaliselt keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) ja molekulaarkiire epitaksia (MBE) seadmetesse, et toetada ja pöörata vahvleid, et tagada ühtlane materjali sadestumine ja tõhus reaktsioon. See on pooljuhtide töötlemise põhikomponent. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Loe rohkemSaada päring