> Tooted > Tantaalkarbiidi kate

Uued tooted

Hiina Tantaalkarbiidi kate Tootja, tarnija, tehas

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.

Peamised tooted onTaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-kattega kolme kroonlehega juhtrõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor, Tantaalkarbiidist katterõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC katte pöörlemissusseptor, Tantaalkarbiidist rõngas, TaC katte pöörlemisplaat, TaC-ga kaetud vahvli sustseptor, TaC-kattega deflektorirõngas, CVD TaC kate, TaC-kattega padrunjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.

TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksimisprotsess. Samuti on sellel laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.

Põhifunktsioonid:

●Temperatuuri stabiilsus

●Ultra kõrge puhtusastmega

●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

●Vastupidavus termilisele materjalile

●Tugev nake grafiidiga

●Konformne kattekiht

● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)

Rakendused:

●Vahvlikandja

● Induktiivne küttesusseptor

● Resistiivne kütteelement

●Satelliidi ketas

●Dušipea

●Juhtrõngas

●LED Epi vastuvõtja

●Sissepritse otsik

●Maskeeriv rõngas

● Kuumakaitse

Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6.3 10^-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1 × 10^-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)

TaC katte EDX andmed：

EDX data of TaC coating

TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element	Aatomiprotsent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskmine
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-katte padrun TaC Coating Planetary Disk
TaC-ga kaetud plaat TaC katte pöörlemisplaat TaC katte vastuvõtja CVD TaC kate kate CVD TaC katterõngas TaC katteplaat

View as

TaC-kattega juhtrõngas

TaC Coated Guide Ring on valmistatud kvaliteetsest grafiidist ja TaC kattest. SiC kristallide valmistamisel PVT meetodil kasutatakse VeTek Semiconductori TaC-ga kaetud juhtrõngast peamiselt õhuvoolu suunamiseks ja juhtimiseks, monokristallide kasvuprotsessi optimeerimiseks ja monokristallide saagise parandamiseks. Suurepärase TaC kattetehnoloogiaga on meie toodetel suurepärane kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus ja head mehaanilised omadused. Tervitame siiralt teie konsultatsiooni ja ootame teile üksikasjalikumat tooteteavet ja tehnilist tuge.

Loe rohkem Saada päring

Tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas

VeTek Semiconductor on Hiinas juhtiv tantaalkarbiidiga kaetud planetaarse pöörlemisketta tootja ja tarnija, kes on aastaid keskendunud TaC-katte tehnoloogiale. Meie toodetel on kõrge puhtusaste ja suurepärane kõrge temperatuuritaluvus, mida pooljuhtide tootjad laialdaselt tunnustavad. VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas on muutunud vahvlite epitaksitööstuse selgrooks. Ootame teiega pikaajalise partnerluse loomist, et ühiselt edendada tehnoloogilist arengut ja tootmise optimeerimist.

Loe rohkem Saada päring

TaC-kattega grafiidist vahvlikandja

VeTek Semiconductor on klientide jaoks hoolikalt kavandanud TaC-ga kaetud grafiitplaadi kanduri. See koosneb kõrge puhtusastmega grafiidist ja TaC-kattest, mis sobib erinevate vahvlite epitaksiaalseks töötlemiseks. Oleme aastaid spetsialiseerunud SiC- ja TaC-kattele. Võrreldes SiC-kattega, on meie TaC-ga kaetud grafiidist vahvlikandjal kõrgem temperatuuritaluvus ja kulumiskindel. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Loe rohkem Saada päring

<...6 7 8 9 10 >

Professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana Hiinas on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate kohandatud teenuseid oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks või soovite osta täiustatud ja vastupidavat Hiinas valmistatud Tantaalkarbiidi kate, võite meile sõnumi jätta.